| 型 式 | A | B | C |
|---|---|---|---|
| ST050FV060 | VG65 | 590 | 155 |
| ST050FR060 | ISO-R63 | 611 | 155 |
| ST050FC060 | CF63 | 625 | 155 |
| ST220FV060 | VG100 | 643 | 175 |
| ST220FR060 | ISO-R100 | 643 | 175 |
| ST220FC060 | CF100 | 663 | 175 |
| ST350FV060 | VG100 | 673 | 175 |
| ST350FR060 | ISO-R100 | 657 | 175 |
| ST350FC060 | CF100 | 673 | 175 |
真空排気システム
STシリーズ（TG-Fシリーズ＋油回転真空ポンプ）
ターボ分子ポンプ排気システム
製品特長
- 高真空排気に必要な機器をコンパクトにまとめたターボ分子ポンプ排気システム
- 簡単な操作で高真空まで排気！
- キャスター付きなので、使いたいときに使いたい場所へ、簡単に移動できます。
- 外乱に強いターボ分子ポンプTG-F シリーズを搭載！（ポンプ運転中の移動も可能）
※オプション機器類は必要に応じて対応できます。
仕様一覧
仕様
| 型式 | ST050F*060 | ST220F*060 | ST350F*060 | |
|---|---|---|---|---|
| ターボ分子ポンプ | TG50F | TG220F | TG350F | |
| 排気速度 | N₂ (L/s) | 51 | 220 | 350 |
| N₂ (保護金網付) (L/s) | 49 | 210 | 330 | |
| 試験到達圧力 | (Pa) | <3×10⁻⁶ | <1×10⁻⁶ | <1×10⁻⁶ |
| (Torr) | <2.3×10⁻⁸ | <7.5×10⁻⁹ | <7.5×10⁻⁹ | |
| 吸気口 | VG65 / ISO-R63 / CF63 | VG100 / ISO-R100 / CF100 | VG100 / ISO-R100 / CF100 | |
| 補助ポンプ ※1 | 油回転真空ポンプ VRD-4 | 油回転真空ポンプ VRD-4 | 油回転真空ポンプ VRD-4 | |
| 冷却方式 | 強制空冷 | |||
| 電源 | 単相、AC100V/200V | |||
| 標準機器構成 | ・ターボ分子ポンプ：TG50F～TG350F ・補助ポンプ：直結型油回転真空ポンプ（VRD-4） ・パワーサプライ ・STコントローラ ・真空配管：フレキシブルチューブ、エルボ、クランプ継手など ・自動スローリーク弁 ・オイルミストトラップ ・アルミ架台（キャスター付） |
|||
※1：オイルミストセパレータ付きですが、吸込みフィルターは搭載されません。
※2：標準仕様以外にも、お客様のニーズに合わせた排気ユニットを製作することができます。詳しくは当社営業担当者までお問合せ下さい。
外観寸法図
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