メカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）
RD2500/RD2510
モータ直結型メカニカルブースタポンプ
製品特長
- コンパクト設計でシステムとしてまとめる事が容易
- フランジモータと直結し、コンパクトで軽量
- ドレンが内部にたまらず全負荷連続運転が可能
用途
- 半導体、FPD
- 薄膜コーティング
- 金属、鉄鋼、産業機器
- 医療、化学、医薬品、食品
- 研究開発
仕様一覧
仕様
| 型式 | RD2500 | RD2510 | |
|---|---|---|---|
| 吸気口 | 200A JIS10KFF | ||
| 呼び排気速度 (50/60Hz) ※1 | ㎥/h | 2070/2500 | |
| 許容圧力差（標準モータ使用時） (kPa) | 50/60Hz | 4.5 | 19/16 |
| 試験到達圧力 (Pa) | 補助ポンプ1段RP | 7×10⁻² | |
| 補助ポンプ2段RP | 1.3×10⁻² | ||
| 基準補助ポンプの排気速度 (㎥/h) | 450～600 | ||
| 回転速度 (r/min) | 50/60Hz | 1500/1800 | |
| 標準モータ出力 (kW) | 5.5 | 15 | |
| 油量 (L) | 6.2 | ||
| 冷却水量 (㎥/h) ※2 | 0.4 | ||
| 質量 (kg) | 全閉外扇屋内形モータ付 | 690 | 750 |
| モータなし | 620 | ||
※1：実効排気速度は補助ポンプにより変わります。詳しくは当社営業担当までお問い合わせ下さい。
※2：冷却水温度は最高30℃を目安にしてください。
許容周囲温度：運転時は+10℃～+40℃、保管時は-5℃～+60℃。
凍結防止のため保管時には水を抜いておいて下さい。
外観寸法図
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