油拡散真空ポンプ
DPシリーズ
油拡散真空ポンプ
製品特長
- 簡単に高真空を得る事ができ、真空熱処理炉、真空蒸着、電子ビーム溶接、スパッタ装置等の排気系など、幅広い真空プロセスに用いられています。
- 10,000L/s（バッフルなし）以上の排気速度を持つポンプもラインアップしています。
- 作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い高真空ポンプです。
- 機械的な作動部がなく、堅牢で長寿命です。
- 分解が簡単な構造なので、内部清掃・保守・点検が簡単です。
仕様一覧
仕様
| 形式※1 | DP2 | DP3 | DP4 | DP6 | DP8 | DP10 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 排気速度 (L/s) | バッフルなし | 125 | 280 | 380 | 810 | 1450 | 2070 |
| 標準バッフル付 | 58 | 150 | 215 | 465 | 790 | 1200 | |
| 試験到達圧力 (Pa) | ～10⁻⁵ | ||||||
| 無負荷臨界背圧 (Pa) | 20 | 15 | |||||
| 油逆流量-標準バッフル付 (mg/㎠･min) | <10⁻⁴ | ||||||
| 標準バッフル | 水冷 ルーバー | ||||||
| ヒーター | 電源 | AC100V, 1φ | AC200V, 1φ | ||||
| 電力 (kW) | 0.33 | 0.5 | 0.7 | 1 | 1.4 | 1.9 | |
| 油量 (L) | 0.05 | 0.1 | 0.15 | 0.34 | 0.5 | 0.82 | |
| 冷却水量-バッフル用含む※2 (㎥/h) | 0.03 | 0.06 | 0.09 | 0.18 | 0.24 | 0.3 | |
| 質量 (kg) | 4 | 6 | 8 | 20 | 30 | 41 | |
| 基準補助ポンプ※3 | VRD-4 | VRD-8 | VRD-24 | VRD-48 | P90 | P180/P222 | |
| 形式※1 | DP14 | DP18B | DP22B | DP24B | DP28B | DP36 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 排気速度 (L/s) | バッフルなし | 3600 | 8000 | 12800 | 16000 | 20000 | 40000 |
| 標準バッフル付 | 2350 | 4600 | 6900 | 7900 | 9800 | 18000 | |
| 試験到達圧力 (Pa) | ～10⁻⁵ | ||||||
| 無負荷臨界背圧 (Pa) | 15 | 59 | 65 | 65 | 67 | 27 | |
| 油逆流量-標準バッフル付(mg/㎠･min) | <10⁻⁴ | ||||||
| 標準バッフル | 水冷 ルーバー | ||||||
| ヒーター | 電源 | AC200V,3φ | |||||
| 電力 (kW) | 4.5 | 3.5 | 5.4 | 6.6 | 8 | 15 | |
| 油量 (L) | 1.6 | 2.2 | 3 | 3.5 | 4.5 | 9 | |
| 冷却水量-バッフル用含む※2 (㎥/h) | 0.42 | 0.3 | 0.42 | 0.6 | 上回路：≧0.18 下回路：≧0.54 |
2.4 | |
| 質量 (kg) | 120 | 110 | 167 | 210 | 250 | 1000 | |
| 基準補助ポンプ※3 | ご仕様により選定 | ||||||
| 標準付属品 |
|---|
| ・作動油（ライオンA）・・・1台分 ・吸気口、排気口用ガスケット（二トリルゴム）・・・1式 ・油面計（DP10以上）・・・1式 ・給排油口（DP10以上）・・・1式 ・バイメタル（DP8～DP22B）・・・1式 ・サーモスタット（DP18B以上）・・・1式 |
※1：末尾「B」は省エネ・省スペース型です。
※2：冷却水入口温度を25℃以下にしてください。
※3：補助真空ポンプは被排気系の大きさ、その他ご仕様に合わせて選定する必要があります。
詳細は当社営業担当にお問合せください。
外観寸法図
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