ドライ真空ポンプ
ER100D/ER100DC
省エネ多段ルーツ型 ドライ真空ポンプ
製品特長
- 同クラスドライ真空ポンプの中でもトップクラスの省エネルギー、小型・軽量化を実現しました。
到達圧力時消費電力：400W
設置面積：0.11㎡
重量：60kg - 用途に応じた製品仕様をご用意しております。
ER100D：軽負荷・クリーンプロセスの排気に最適
ER100DC：耐食性能の高い材質を採用、腐食性ガスの排気に対応
用途
- クリーン排気
- スパッタ装置粗引き
- TMPなど高真空ポンプの補助ポンプ
- ロードロック室、搬送室排気
- 小型実験装置排気
- 吸着搬送システム
- 分析・測定装置の排気
- 小型炉排気
- 電子銃源、イオン銃源排気
仕様一覧
仕様
| 基本性能 | ||
|---|---|---|
| 型式 | ER100D/ER100DC（耐食型） | |
| 吸気口 | KF50 | |
| 排気口 | KF25 | |
| 排気速度 (L/min) | 1670 | |
| 試験到達圧力 (Pa) | 5.0 | |
| 概略重量 (kg) | 60 | |
| 電源・ユーティリティ | ||
|---|---|---|
| 相数 | 三相 | |
| 電圧 (V) | 200-220 | |
| 周波数 (Hz) | 50/60 | |
| 電源容量 (VA) | 3200 | |
| 到達圧力時消費電力 (W) | 400 | |
| その他 | |
|---|---|
| N₂ パージガス流量 (Pa・㎥/s) | 17～20 |
| 冷却方式 | 水冷 |
| 冷却水量 (L/min) | 1.5～3.0 |
| 冷却水温度 (℃) | Max. 30 |
[対応ガス種]
吸引ガス種によっては、内部部品を劣化させる場合があります。
対応ガス種は当社営業にお問い合わせ下さい。
外観寸法図
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性能曲線
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