ドライ真空ポンプ
DSP501
コンパクトスクリュー型 ドライ真空ポンプ
製品特長
- ポータブルタイプ
小型・軽量・外乱に強い。タイミングギアレス構造により、軽量化を実現。 - ユーティリティーの利便性向上
ガスバラスト機構を標準搭載。空冷タイプのため冷却水の準備が不要。 - オイルフリー
タイミングギヤレス構造により、潤滑油を使用しない設計を実現。 - 低騒音
タイミングギアレス構造により機械音がない。外装カバーに防音機能を装備。 - 低振動
スクリュー形ロータの採用により、排気脈動が発生しない。 - 省エネルギー
競合他社と比較して、低消費電力を実現。 - クリーン排気
油回転真空ポンプのように油蒸気やパーティクルの逆流がない為、非常にクリーンな排気を実現。 - 高速ポンプダウン
大気圧付近で大排気速度を実現。 - 安全規格 CE適合
用途
- SEM、リソグラフィ
- 医療装置
- ロードロック／搬送室排気
- 分析機器
- 加速器、イオン源、電子銃排気
- 一般産業
- PVD
- R&D
仕様一覧
仕様
| 基本性能 | ||
|---|---|---|
| 型式 | DSP501 | |
| 吸気口 | KF40 | |
| 排気口 | KF25 | |
| 排気速度 (L/min) | ガスバラスト無 | 500 |
| ガスバラスト有 | 430 | |
| 到達圧力 (Pa) | ガスバラスト無 | 0.5 |
| ガスバラスト有 | 2 | |
| 概略重量 (kg) | 21 | |
| 電源・ユーティリティ | ||
|---|---|---|
| 相数 | 単相 | |
| 電圧 (V) | AC100-230(±10%) | |
| 電源容量 (VA) | 660 | |
| 電源接続 | 平川ヒューテック製CM11 | |
| 到達圧力時消費電力 (W) | 270 | |
| 最大消費電力 (W) | 600 | |
| 標準付属品 |
|---|
| ・AC100V クラス用電源コード：アース付コンセントプラグ, 長さ3m ・制御信号用コネクタ：D-sub 15Pin オス ・取扱説明書：日本語版 |
| オプション |
|---|
| ・吸込真空フィルタ(※4)：KF40 ・AC200Vクラス用電源コード ・排気口サイレンサ ・ポンプ本体固定金具 |
※１ 空気より熱伝導率の低いガスを排気する場合、ポンプロータ・ステータが接触して破損に至る可能性があります。温度上昇は排気条件によっても変わります。ご使用の際は、当社営業までお問合せください。
※２ ヘリウムや水素等の軽分子量ガスを吸引する場合、或いは多量の凝縮性成分を含む場合、ポンプ性能・運転に制約が生じる場合がありますので、事前に当社営業までお問合せください。
※３ 使用後は水蒸気の凝縮防止及び軽ガスの排気性能改善、乾燥空気または窒素ガスをバラストポートから導入してください。
※４ 異物等が入ることが危惧される場合は、吸気口にフィルタを取り付ける等の適切な防止手段を設けてください。
外観寸法図
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性能曲線
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