玉軸受形 ターボ分子ポンプ
玉軸受形は、ベアリングの一種で、転動体として玉を用いる軸受のことです。ラジアル荷重、スラスト荷重、またはその両方を支えることができる汎用性の高い軸受として、広く使われています。構成部品が少なく容易構造がシンプルなため、製造コストが安く、トラブルシューティングが容易で、外部からの衝撃に強く、磁気軸受形に比べて軽量であることが特徴です。
玉軸受形はさらに「グリス潤滑玉軸受形」と「油潤滑玉軸受形」があります。大阪真空では幅広い種類のターボ分子ポンプをラインアップしています。
玉軸受形ターボ分子ポンプ
シリーズ一覧
TG-F SERIES
グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ
グリス潤滑形で50～2400L/sの排気容量の製品をラインアップ
1999年の販売開始以来、TG-Fシリーズは当社ターボ分子ポンプ製品群の中でもベストセラーを誇るモデル。グリス潤滑玉軸受構造の採用により、コンパクトかつ堅牢な設計を実現。耐衝撃性が高く、可搬式装置や装置の可動部への搭載が可能。
Point
取付方向に制限がないため倒立運転も可能。装置設計の自由度が広がります
メンテナンスフリー：グリス補給不要で、オーバーホールサイクル2～3万時間
コンパクトな設計でかつ軽量
大気突入に対応した機種や、耐衝撃性が高く、可搬式装置や装置の可動部への搭載が可能な機種もラインアップ
コントローラ一体型の機種もラインアップ
産業分野
- 光学産業
- ディスプレイ
- 理化学機器
- エネルギー
- 素材
- 自動車/航空
- 医療/医薬品
- 宇宙/研究開発
断面図
特殊仕様 TG-F SERIES
グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ
耐磁場仕様 TG-FSシリーズ
Point
強い磁場内にあっても回転に対するブレーキ作用や発熱などの心配がなく、安全に排気作業を行うことが可能
大阪真空の全機種対応可能
加速器向け、長尺ケーブル対応あり（約200ｍ延長可能）
産業分野
- 理化学機器
- エネルギー
- 宇宙/研究開発
TG SERIES
油潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ
油潤滑玉軸受形で200 ～ 5500L/s の排気容量の製品をラインアップ
複合ロータを採用し、腐食性ガスに対応した仕様もラインアップ。耐久性と性能のバランスに優れ、光学産業、エネルギー、自動車などの一般産業分野から研究開発用途まで、幅広く採用されています。
Point
過酷な環境にも対応可能
TG203～TG1813(200～1800L/s)：腐食性ガスの排気に強いケミカル形仕様をラインアップ
TG2810～TG5500(2800～5500L/s)：クリーンプロセスに有効な標準仕様と腐食性ガスの排気に強いケミカル仕様をラインアップ
産業分野
- 光学産業
- エネルギー
- 素材
- 自動車/航空
- 医療/医薬品
断面図
TS SERIES
ヘリカル溝真空ポンプ
油潤滑玉軸受形、全段ヘリカル溝（ねじ溝）構ロータを採用した、25と440L/sの排気容量の製品をラインアップ
全段ヘリカル溝ロータを採用した高流量・高圧縮比対応機種。高負荷運転や⾧時間稼働にも対応し、大型チャンバーの排気に最適。
Point
中・低真空領域において大量のガス排気可能
TS50：300,000 回以上の大気突入に耐えられる構造
産業分野
- 光学産業
- 理化学機器
- エネルギー
- 素材
- 自動車/航空
- 医療/医薬品
断面図
