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資料ダウンロード – 2D CAD

電子カタログ(PDF)、2D-CADデータ(DXF)、3D-CADデータ(STEP/IGES)、フィールドネットワーク設定ファイル、輸出管理規定に関する自己判定書、SDS を選択し、ダウンロードすることができます。
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2D-CADデータ (DXF)

ターボ分子ポンプ

TGkine®-B シリーズ(コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ)

TGkine®-R シリーズ(磁気軸受形ターボ分子ポンプ)

TG-M シリーズ(磁気軸受形ターボ分子ポンプ)

TG-M7 シリーズ(磁気軸受形ターボ分子ポンプ)

TG-F シリーズ(グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ)

TG シリーズ(油潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ)

コントローラ パワーサプライ

ドライ真空ポンプ

油回転真空ポンプ

液封式真空ポンプ

メカニカルブースタポンプ(ルーツ真空ポンプ)

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