真空構成部品 製品詳細
真空構成部品

VMA-Lシリーズ

真空アングルバルブ（空圧作動/SS400/VFフランジ）

製品特長

  • 使用圧力：1×10-5Pa～1×105Pa
  • 本体リーク量：1×10-4Pa L/s
  • 片口（グランド側）リーク量：1×10-4Pa L/s
  • シリンダ駆動空気圧：0.4～0.6MPaG
  • 材質：標準SS400、ニトリルゴム

仕様一覧

仕様
基本仕様
軸シールОリング・ダストキーパ：ニトリルゴム(オプション：フッ素ゴム)
弁版シールOリング：フッ素ゴム
ボンネットシールOリング：ニトリルゴム(オプション：フッ素ゴム)
使用圧力範囲 (Pa)1×10⁵～1×10⁻⁵
使用可能温度 (℃)10～40
リーク量 (Pa・㎥/s)1×10⁻⁷
メンテナンスサイクル (万回)10 ※1
材質バルブ本体SS400（軟鋼・ニッケルめっき）
機構部SS400（軟鋼・ニッケルめっき）
シリンダ供給圧空圧力 (MPaG)0.4～0.6
開閉センサー取付 ※2オートスイッチ
電磁弁 ※2DC12/24V、AC110V、AC220V

※1：使用状況、環境により変わります。
※2：開閉センサー、電磁弁はオプション品です。

機種別仕様

VMA-L-V1シリーズ

型式 VMA-20L-V1 VMA-25L-V1 VMA-40L-V1 VMA-50L-V1 VMA-80L-V1 VMA-100L-V1 VMA-150L-V1 VMA-200L-V1 VMA-250L-V1 VMA-300L-V1
呼び径 20A 25A 40A 50A 80A 100A 150A 200A 250A 300A
接続フランジ VF20 VF25 VF40 VF50 VF80 VF100 VF150 VF200 VF250 VF300
動作条件（弁座内外の圧力差；Pa） 0 ～ 101
運転姿勢 自在
シリンダ口径 (mm) 32 40 63 80 100 140 160 180

VMA-L-V0シリーズ

型式 VMA-
350L-V0		 VMA-
400L-V0		 VMA-
450L-V0		 VMA-
500L-V0		 VMA-
550L-V0		 VMA-
600L-V0		 VMA-
650L-V0		 VMA-
700L-V0		 VMA-
900L-V0
呼び径 350A 400A 450A 500A 550A 600A 650A 700A 900A
接続フランジ VF350 VF400 VF450 VF500 VF550 VF600 VF650 VF700 VF900
動作条件（弁座内外の圧力差；Pa） 0
運転姿勢 垂直（スピンドル垂直方向）
シリンダ口径 (mm) 32 40 63 80 100 140 160

外観寸法図

VMA-L-V1シリーズ

型式 VMA-
20L-V1		 VMA-
25L-V1		 VMA-
40L-V1		 VMA-
50L-V1		 VMA-
80L-V1		 VMA-
100L-V1		 VMA-
150L-V1		 VMA-
200L-V1		 VMA-
250L-V1		 VMA-
300L-V1
L 65 70 85 105 130 150 170 200 220 250
H 246 251 330 350 445 505 595 735 875 940
D 80 90 105 120 160 185 235 300 350 400
C 60 70 85 100 135 160 210 270 320 370
N 4 4 4 4 4 8 8 8 12 12
h 10 10 10 10 12 12 12 15 15 15
E 110 110 135 135 190 220 270 335 390 450
R φ38 φ38 □57 □57 □80 □98 □118 □157 □177 □200
Rc 1/8 1/8 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4

VMA-L-V0 シリーズ

型式 VMA-
350L-V0		 VMA-
400L-V0		 VMA-
450L-V0		 VMA-
500L-V0		 VMA-
550L-V0		 VMA-
600L-V0		 VMA-
650L-V0		 VMA-
700L-V0		 VMA-
900L-V0
L 350 350 400 400 450 500 500 550 600
H 1115 1170 1276 1310 1470 1595 1612 1755 2134
D 450 520 575 625 680 750 800 850 1065
C 420 480 535 585 640 700 750 800 1015
N 12 12 16 16 16 16 20 20 24
h 15 19 19 19 19 23 23 23 25
E 540 595 655 685 725 840 840 920 1155
R □98 □118 □118 □118 □118 □118 □118 □118 □157
Rc 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4

詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。

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