真空構成部品 製品詳細
真空構成部品

VMA-L-10Kシリーズ

真空アングルバルブ(耐圧真空/ 空圧作動/SS400/10K フランジ)

製品特長

  • 使用圧力:1×10-5Pa~0.97MPa
  • 本体リーク量:1×10-4Pa L/s
  • 片口(グランド側)リーク量:1×10-4Pa L/s
  • シリンダ駆動空気圧:0.4~0.6MPaG
  • 材質:標準SS400、ニトリルゴム

仕様一覧

仕様

基本仕様
接続フランジJIS 10K FF
軸シールOリング・ダストキーパ :ニトリルゴム(オプション:フッ素ゴム)
弁版シールOリング:フッ素ゴム
ボンネットシールOリング:ニトリルゴム(オプション:フッ素ゴム)
使用可能温度 (℃)10~40
リーク量 (Pa・㎥/s)1×10⁻⁷
メンテナンスサイクル (万回)10 ※1
材質バルブ本体SS400(軟鋼・ニッケルめっき)
機構部SS400(軟鋼・ニッケルめっき)
運動姿勢自在
シリンダ供給圧空圧力 (MPaG)0.4~0.6
開閉センサー取付 ※2オートスイッチ
電磁弁 ※2DC12/24V、AC110V、AC220V

※1:使用状況、環境により変わります。 ※2:開閉センサー、電磁弁はオプション品です。

機種別仕様

VMA-L-10K-3/4/8 シリーズ

型式 VMA-20L-10K-8 VMA-25L-10K-8 VMA-40L-10K-8 VMA-50L-10K-8 VMA-80L-10K-8 VMA-100L-10K-8 VMA-150L-
10K-4
VMA-200L-
10K-3
呼び径 20A 25A 40A 50A 80A 100A 150A 200A
使用圧力範囲(Pa) 9×105 ~ 1×10-5 5×105
1×10-5
3×105
1×10-5
動作条件(弁座内外の圧力差;MPa) 0~0.8 0~0.4 0~0.29
シリンダ口径(mm) 63 80 100 140 180 200

VMA-L-10K-1 シリーズ

型式 VMA-20L-10K-1 VMA-25L-10K-1 VMA-40L-10K-1 VMA-50L-10K-1 VMA-80L-10K-1 VMA-100L-10K-1 VMA-150L-10K-1 VMA-200L-10K-1 VMA-250L-10K-1 VMA-300L-10K-1
呼び径 20A 25A 40A 50A 80A 100A 150A 200A 250A 300A
使用圧力範囲(Pa) 1×105 ~ 1×10-5
動作条件(弁座内外の圧力差;kPa) 0 ~ 101
シリンダ口径(mm) 32 40 63 80 100 140 160 180

外観寸法図

VMA-L-10K-3/4/8 シリーズ

型式 VMA-20L-10K-8 VMA-25L-10K-8 VMA-40L-10K-8 VMA-50L-10K-8 VMA-80L-10K-8 VMA-100L-10K-8 VMA-150L-10K-4 VMA-200L-10K-3
L 85 85 100 105 130 150 200 250
H 350 350 400 430 500 600 695 763
D 100 125 140 155 185 210 280 330
C 75 90 105 120 150 175 240 290
N 4 4 4 4 8 8 8 12
h 15 19 19 19 19 19 23 23
E 155 155 180 210 265 300 385 400
R □80 □80 □98 □118 □157 □200 □200 □220
Rc 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4

VMA-L-10K-1 シリーズ

型式 VMA-20L-
10K-1
VMA-25L-
10K-1
VMA-40L-
10K-1
VMA-50L-
10K-1
VMA-80L-
10K-1
VMA-100L-
10K-1
VMA-150L-
10K-1
VMA-200L-
10K-1
VMA-250L-
10K-1
VMA-300L-
10K-1
L 85 85 100 105 130 150 220 250 300 350
H 270 270 369 374 487 597 694 740 880 1028
D 100 125 140 155 185 210 280 330 400 445
C 75 90 105 120 150 175 240 290 355 400
N 4 4 4 4 8 8 8 12 12 16
h 15 19 19 19 19 19 23 23 25 25
E 155 155 180 210 265 300 385 400 445 490
R φ38 φ38 □57 □57 □80 □98 □118 □157 □177 □200
Rc 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4 1/4

詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。

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