| 型 式 | A | B |
|---|---|---|
| ST220FVD | VG100 | 680 |
| ST220FRD | ISO-R100 | 680 |
| ST220FCD | CF100 | 700 |
| ST350FVD | VG100 | 710 |
| ST350FRD | ISO-R100 | 694 |
| ST350FCD | CF100 | 710 |
| ST450FVD | VG150 | 670 |
| ST450FBD | ISO-B160 | 670 |
| ST450FCD | CF160 | 670 |
真空排気システム
STシリーズ（TG-Fシリーズ＋ドライ真空ポンプ）
ターボ分子ポンプ排気システム
製品特長
- 高真空排気に必要な機器をコンパクトにまとめたターボ分子ポンプ排気システム
- 簡単な操作で高真空まで排気！
- キャスター付きなので、使いたいときに使いたい場所へ、簡単に移動できます。
- 外乱に強いターボ分子ポンプTG-F シリーズを搭載！（ポンプ運転中の移動も可能）
※オプション機器類は必要に応じて対応できます。
仕様一覧
仕様
| 型式 | ST220F*D | ST350F*D | ST450F*D | |
|---|---|---|---|---|
| ターボ分子ポンプ | TG220F | TG350F | TG450F | |
| 排気速度 | N₂ (L/s) | 220 | 350 | 450 |
| N₂ (保護金網付) (L/s) | 210 | 330 | 430 | |
| 試験到達圧力 | (Pa) | <1×10⁻⁶ | <1×10⁻⁶ | <1×10⁻⁶ |
| (Torr) | <7.5×10⁻⁹ | <7.5×10⁻⁹ | <7.5×10⁻⁹ | |
| 吸気口 | VG100 / ISO-R100 / CF100 | VG100 / ISO-R100 / CF100 | VG150 / ISO-B160 / CF160 | |
| 補助ポンプ ※1 | ドライ真空ポンプ DSP251 230(200)L/min | ドライ真空ポンプ DSP251 230(200)L/min | ドライ真空ポンプ DSP251 230(200)L/min | |
| 冷却方式 | 強制空冷 | |||
| 電源 | 単相、AC100V/AC200V、15A | |||
| 標準機器構成 | ・ターボ分子ポンプ：TG220F～TG450F ・補助ポンプ：ドライ真空ポンプ（DSP251） ・パワーサプライ ・STコントローラ ・真空配管：フレキシブルチューブ、エルボ、クランプ継手など ・自動スローリーク弁 ・アルミフレーム架台（キャスター付） |
|||
※1：（）内の数値はガスバラストバルブ導入時の排気速度です。
標準仕様以外にも、お客様のニーズに合わせた排気ユニットを製作することができます。詳しくは当社営業担当者までお問い合わせください。
外観寸法図
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