磁気軸受形 ターボ分子ポンプ 製品詳細
磁気軸受形 ターボ分子ポンプ

TG-MRシリーズ

耐放射線仕様磁気軸受形ターボ分子ポンプ

製品特長

  • 過酷な放射線環境下においても使用可能!耐久試験で累積吸収線量100MGy以上を達成。
  • 長尺ケーブル対応あり!(約200m延長可能)J-PARCセンターにて10年以上の稼働実績。

用途

  • 加速器
  • 核融合研究
  • その他、放射線環境下が想定される設備

仕様一覧

仕様

機種名 TG390MR TG420MR TG900MR TG1300MR TG2400MR
吸気口 詳しくは営業担当者までお問合せください。
排気口 詳しくは営業担当者までお問合せください。
排気速度 N₂(L/s) 340 400 900 1300 2400
N₂ (保護金網付) (L/s) 320 370 860 1230 2300
H₂(L/s) 290 300 1050 1200 1100
最大圧縮比 N₂ 1×10⁸
H₂ 4.5×10³ 1.5×10⁴ 1.5×10³
試験到達圧力 Pa <1×10⁻⁶ (ISO-B・VG), <1×10⁻⁷ (CF) <1×10⁻⁶
Torr <7.5×10⁻⁹ (ISO-B・VG), <7.5×10⁻¹⁰ (CF) <7.5×10⁻⁹
起動時間 min 2~3 4~5
停止時間 min 4~5
許容補助圧力 Pa 400 500 200
Torr 3 3.8 1.5
推奨補助ポンプ L/min ≧160 ≧250 ≧500
取付方向 自在
ターボコントローラ型式 TC010MB

※1:補助ポンプ容量を320L/min(TG390/420MR)、1000L/min(TG900/1300/2400MR)とした場合の許容最大流量。
※2:流量特性(性能曲線)は標準形と同一です。各機種の標準形をご覧下さい。

外観寸法図

詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。

性能曲線

詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。

コントローラ

詳しくは営業担当者までお問合せ下さい。

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