磁気軸受形 ターボ分子ポンプ
耐磁場仕様
磁気軸受形ターボ分子ポンプ
製品特長
加速器や核融合などの強い磁場においても使用可能。磁場に対する耐久性を高めた磁場シールド機能付きを開発。（特許第5483684号）
磁気軸受形ターボ分子ポンプでも長尺ケーブル可能。
- 強い磁場内にあって回転に対するブレーキ作用や発熱の心配がなく、安全に排気作業を行うことができる。
- 大阪真空の全機種（磁気軸受形だけでなく、玉軸受形も）対応可能。
- 加速器向け、長尺ケーブル対応可能。（約200m追加可能）
用途
- 加速器
- 核融合研究
- イオン注入工程
- 原子力機構等、磁場強度が強い場所
仕様一覧
仕様
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外観寸法図
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性能曲線
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コントローラ
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