メカニカルブースタポンプ（ルーツ真空ポンプ）
RA100
モータ直結型メカニカルブースタポンプ
製品特長
- コンパクト設計でシステムとしてまとめる事が容易
- 接ガス部がアルミ合金製であるため発錆がない
- 内部軸シールは非接触型のため、メンテナンス間隔はRDシリーズの2～3倍
- 油面のチェックは給排油口各1ヶ所で1面集中
- 低騒音・低振動
用途
- 半導体、FPD
- 薄膜コーティング
- 金属、鉄鋼、産業機器
- 医療、化学、医薬品、食品
- 研究開発
仕様一覧
仕様
| 型式 | RA100 | |
|---|---|---|
| 吸気口 | VG50 | |
| 呼び排気速度 (50/60Hz) ※1 | ㎥/h | 90/110 |
| 許容圧力差（標準モータ使用時） (kPa) | 50/60Hz | 9.3/8.0 |
| 試験到達圧力 (Pa) | 補助ポンプ1段RP | 7×10⁻² |
| 補助ポンプ2段RP | 1.3×10⁻² | |
| 基準補助ポンプの排気速度 (㎥/h) | 18～36 | |
| 回転速度 (r/min) | 50/60Hz | 3000/3600 |
| 標準モータ出力 (kW) | 0.4 | |
| 油量 (L) | 0.33 | |
| 冷却水量 (㎥/h) ※2 | 0.06 | |
| 質量 (kg) | 全閉外扇屋内形モータ付 | 25 |
| モータなし | 17 | |
※1：実効排気速度は補助ポンプにより変わります。詳しくは当社営業担当までお問い合わせ下さい。
※2：冷却水温度は最高30℃を目安にしてください。
許容周囲温度：運転時は+10℃～+40℃、保管時は-5℃～+60℃。
凍結防止のため保管時には水を抜いておいて下さい。
外観寸法図
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