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TGkine®-B シリーズ（コントローラ・電源一体型 磁気軸受形ターボ分子ポンプ）

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TG-M シリーズ（磁気軸受形ターボ分子ポンプ）

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TG-F シリーズ（グリス潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ）

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TG シリーズ（油潤滑玉軸受形ターボ分子ポンプ）

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TGkine®-B シリーズ（コントローラ・電源一体型 磁気軸受形複合分子ポンプ）

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TGkine®-R シリーズ（磁気軸受形ターボ分子ポンプ）

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TG-M7 シリーズ（磁気軸受形ターボ分子ポンプ）

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直結型油回転真空ポンプ VRDシリーズ_VSVシリーズ

• 一括判定書VRDシリーズ_VSVシリーズ
• 一括判定書真空ポンプ潤滑油（油回転真空ポンプ用）

Pシリーズ／Kシリーズ

• 一括判定書Pシリーズ_Kシリーズ
• 一括判定書真空ポンプ潤滑油（油回転真空ポンプ用）

VRD/VSVシリーズ

• 安全データシート(OVPO-68A_ES001151)
• 安全データシート(OVPO-46_ES001150)