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*Please input the equipment's serial number, name and the plant when you wish to have the equipment repaired.

• Serial Number
  (Product ID)
• Equipment Name or Plant Name

可能な範囲でお客様の使用状況をお書き下さい。

• ご使用の用途
  ＜全角＞
• ご使用の装置名称、型式等
  ＜全角＞
• ご使用のポンプメーカー、ポンプ型式
  ＜全角＞
• ご使用のポンプメーカー、段数等
  ＜全角＞
• チャンバー容積
  　リットル ＜半角英数＞
• チャンバーの形状
  • 角型
  • 筒型
  • 球型
• 縦 or 直径
  　cm ＜半角英数＞
• 横
  　cm ＜半角英数＞
• 高さ
  　cm ＜半角英数＞
• チャンバーの材質
  例）SUS304　＜全角＞
• チャンバーの内部機器類
  例）電子銃、蒸着源　＜全角＞
• 排気容積
  　㎥ ＜半角英数＞
• ポンプ－装置間の配管状況
  例）配管口径・距離　＜全角＞
• 希望到達圧力
  　Pa ＜半角英数＞
• プロセス（常用）圧力
  　Pa ＜半角英数＞
• 吐出圧力
  　Pa ＜半角英数＞
• 排気時間（到達圧力まで）
  　分 ＜半角英数＞
• 排気時間（プロセス圧力まで）
  　分 ＜半角英数＞
• 吸入温度
  ＜半角英数＞
• 吸引（導入）ガス種類
  例）空気、水蒸気　＜全角＞
• 吸入（導入）ガス量
  　sccm ＜半角英数＞
• 運転状況
  • 24時間連続運転
  • バッチ運転

  　h/1バッチ ＜半角英数＞
• 電気（電圧）
  　V ＜半角英数＞
• 電気（周波数）
  • 50Hz
  • 60Hz
• 電気（相数）
  3相
• 冷却水供給温度
  　℃ ＜半角英数＞
• 圧縮空気
  　MPaG ＜半角英数＞
• ■ 吸入条件
• A）吸入圧力
  　Pa ＜半角英数＞
• B）吸入温度
  　℃ ＜半角英数＞
• C）吸引（導入）ガス種類
  ＜全角＞
• D）吸引（導入）ガス量
  　Kg/h ＜半角英数＞
• ■ 減圧条件（もし有れば）
• A）排気容量
  　㎥ ＜半角英数＞
• B）リーク量
  　Kg/h ＜半角英数＞
• C）減圧時間
  　分 ＜半角英数＞
• ■ ユーティリティ条件
• A）駆動蒸気（飽和）
  　Kgf/㎠G ＜半角英数＞
• B）冷却水供給温度
  　℃ ＜半角英数＞
• 冷却水種類
  • 工業用水
  • 海水
  • その他
• ■ 構造条件
• A）エジェクタ材質
  ＜全角＞
• B）コンデンサ材質
  ＜全角＞
• C）コンデンサ型式（BC or SC）
  • BC
  • SC
• 1）SC型式
  • 固定管板BC
  • 遊動頭
  • U-Tube
• 2）SC構造規格
  • JIS8249
  • TEMA
  • その他
• 3）SC強度計算規格
  • JIS
  • ASMEⅧ
  • その他