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物理化学仪器
质谱仪，电子显微镜，X射线衍射仪等，精密分析仪和测量仪器，测量时为了排除空气的影响通常内部进行抽真空。
在质谱仪和氦气检漏仪中材料导入部分和检测器进行差压排气，通常采用一台具有压缩比不同的多个进气口的分流型涡轮分子泵。敝司承接对应各种特殊设备规格的订单。
为了不让观察的电子被大气中的气体分子遮挡，显微镜内部同样也保持高真空环境。真空泵在对其进行排气时被要求低振动。敝司提供极低振动型磁悬浮轴承型涡轮分子泵TG-ML系列和低振动且低噪音的螺杆型干式真空泵DSP系列。
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