磁悬浮轴承型涡轮分子泵
磁悬浮涡轮分子泵通过利用磁力使转子悬浮，实现非接触支撑结构，从而完全不使用润滑油，达到完全无油的状态。
因此，可以在低振动、低噪音下实现超高速旋转，并提供洁净的真空环境。
此外，我公司采用电磁石进行五轴控制的磁气轴承涡轮分子泵，不受安装姿势限制，长期实现稳定的运行。
磁悬浮轴承型涡轮分子泵
系列列表
TGkine® 系列
TGkine®-B SERIES
控制器・电源一体型 磁悬浮轴承型涡轮分子泵
标准 & 耐腐蚀性气体：拥有排气速度 1700～4200L/s的产品阵容
实现了控制器和电源的一体化。不需要输出电缆和控制器机架，减少的设备的占地面积。继承了TG-M系列的特点，通过转子的最优化设计，进一步提高了排气性能。
Point
控制器，电源一体型/节省空间，省电设计/大排气速度设计，高流量设计
多种通信机制（可对应EtherCAT）/自主开发，磁悬浮轴承稳定/可设定低速运转模式
产业领域
- 半导体/电子零件
- 光学产业领域
- 显示屏幕
- 理化学机器
- 金属/钢铁
- 能源
- 素材
- 汽车/航空
- 医疗药品
- 宇宙/研究开发
- 机械工业
内部图解
TGkine®-R SERIES
磁悬浮轴承型涡轮分子泵
标准 & 耐腐蚀性气体：拥有排气速度 1700～4200L/s的产品阵容
TGkine-R系列磁悬浮复合分子泵具备了磁悬浮复合分子泵(控制器・电源一体型)TGkine-B系列优秀的产品性能及广受好评的特性，本系列更搭载了将工作数据、轴承使用次数等记忆在泵本体中的存储功能，即使在维修期间更换控制器，也能够传输数据。
Point
节省空间，省电设计・高流量设计・多种通信机制（可对应EtherCAT）
自主开发，磁悬浮轴承稳定・可设定低速运转模式・工作数据等型号信息可保存在本体
产业领域
- 半导体/电子零件
- 光学产业领域
- 显示屏幕
- 理化学机器
- 金属/钢铁
- 能源
- 素材
- 汽车/航空
- 医疗药品
- 宇宙/研究开发
- 机械工业
内部图解
TG-M 系列
TG-M SERIES
磁悬浮轴承型涡轮分子泵
标准 & 耐腐蚀性气体对应：拥有排气速度 340～2400L/s的产品阵容
使用磁悬浮轴承实现无油的排气，维护周期长。
Point
通电后自动调整传感器
可改变转子运转速度，实现工艺所需的排气性能・结合用途, 可选择不同的特殊规格
产业领域
- 半导体/电子零件
- 光学产业领域
- 显示屏幕
- 理化学机器
- 金属/钢铁
- 能源
- 素材
- 汽车/航空
- 医疗药品
- 宇宙/研究开发
- 机械工业
内部图解
TG-M7 SERIES
磁悬浮轴承型涡轮分子泵
标准 & 耐腐蚀性气体对应：拥有排气速度 340～1300L/s的产品阵容
Point
省电力设计・工作数据，轴承接触次数，机种情报等都可存储于分子泵本体
多种通信规格（可对应EtherCAT）
产业领域
- 半导体/电子零件
- 光学产业领域
- 显示屏幕
- 理化学机器
- 金属/钢铁
- 能源
- 素材
- 汽车/航空
- 医疗药品
- 宇宙/研究开发
- 机械工业
特殊型号
反应生成物对策型
该系列采用我们独特的隔热结构/自加热机制，对于反应生成物容易堆积的设备，可明显降低反应生成物的堆积率。
TGkine®-MI SERIES / TG-MI SERIES
Point
使用外部加热器实现升温，同时利用在泵内部产生的气体的摩擦热，来使接触气体部位高效率地升温
可以减小外部加热器的输出功率，得到节能的效果。
可以防止主要部分受到热度影响，防止泵受损。
排气口采用了绝缘材料。
保持了最佳温度，防止排气口堆积生成物。
金属蚀刻工艺导入评价
标准型
真空泵内部与排气口附近堆积大量反应生成物，导致真空泵发生故障。
SGP定子B
排气口
TG-MI 系列
能够大幅减少生成物堆积，使生产线稳定作业。
SGP定子B
排气口
产业领域
- 半导体/电子零件
- 光学产业领域
- 能源
- 素材
耐辐射型
专为在辐射环境下使用而开发的耐辐射涡轮分子泵。耐辐射能力增强，可在恶劣环境下运行。
TG-MR SERIES
极低振动型
该系列实现了“极低振动”，这是分析、测量超狭小空间以及光刻等下一代半导体制造工艺的微细加工的基本技术的基本要素。
TG-ML SERIES
超高真空型
“超高真空”系列实现了60,000 的氢气压缩比，并减少了内部释放的气体。仅TG-MU 系列即可提供接近超高真空范围（10-9Pa 范围及以上）的极限压力。
TG-MU SERIES
金属密封型
- 特殊密封部件（金属垫圈、玻璃制电源导入部件）
- 彻底抑制He 传输的规格
- 可用于辐射环境（约1MGy）
TG-MM SERIES
耐磁场型
- 即使在强磁场中，也无需担心制动或发热，可安全进行排气作业。
- 与本公司所有机器型号兼容
- 适用于加速器的长电缆（可延长约200m）
