以领先的真空科技,赋能全球智造

大阪真空是一家专注于真空技术的制造商,
服务领域涵盖半导体、电子、医疗、绿色能源等多个行业。
75年专注真空技术,提供从设计到服务的一体化高品质真空解决方案。

凭借世界首创技术,我们将持续引领行业未来。

关于我们

我们的优势

75年技术沉淀

1950年创立之初,我们开始制造和销售滑阀真空泵,并于1971年率先在行业内推出涡轮分子泵。

沿革

全方位产品解决方案

我们以真空泵为核心,涵盖涡轮分子泵、油回转真空泵等,并配备丰富的相关周边设备,提供多样化的产品阵容。

产品信息

一站式服务支持

我们提供从产品选型到售后保养的全方位支持服务,并在海外设有据点,构建全球化的服务体系,让您在任何地方都能安心使用。

服务系统

大阪真空引领行业,率先推出 3全球创新产品

  • 复合分子泵

  • 最大级涡轮分子泵

  • 对应极高真空的磁悬浮复合分子泵

活跃于各产业中的真空泵

  • 半导体・电子零件
  • 光学产业领域
  • 汽车・航空
  • 素材
  • 金属・钢铁
  • 化学
  • 能源
  • 医疗药品
  • 理化学机器
  • 显示屏幕
  • 宇宙,研究开发
  • 机械工业
  • 食品
  • 重型电机
  • 搬送

半导体・电子零件

半导体零件是在单晶硅晶圆上,反复进行镀膜,光刻,刻蚀,离子注入等工序制造而成。半导体诸多工序包括检测都离不开真空环境。半导体制造工序进行真空排气时,低中真空使用干式真空泵。高真空使用涡轮分子泵,冷凝泵等。

光学产业领域

在透镜和反射镜等光学零件中的高性能产品是在母材上通过蒸镀和溅射等PVD工序制造成膜防反射涂层和滤光器等功能性薄膜。 同时PVD镀膜,也能对商品容器和智能手机的框体,汽车的内部装饰零件等给予外观装饰用途。蒸镀·溅射工序的真空排气可使用涡轮分子泵和油扩散真空泵。

汽车・航空

在要求高可靠性的汽车和飞机零件·部件的制造过程中,为了使零件的泄漏检查和热处理、素材质量的稳定,都需使用真空技术。 例如,在对零件进行泄露检查时使用的氦气检漏仪,通常使用具有压缩比不同的多个吸气口的分流型涡轮分子泵作为主排气和差动排气。敝司可提供适用于氦气检漏仪规格的真空泵。

素材

高性能的建筑用玻璃一般都会镀Low-E膜。由于它们是通过溅射成膜的,所以一般针对重Ar气体使用大排气速度高流量性能的涡轮分子泵。敝司的产品群,磁悬浮轴承型涡轮分子泵TGkine®-B系列TGkine®-R系列TG-M系列、脂润滑轴承型涡轮分子泵TG-F系列都可对应。

金属・钢铁

在高强度钢铁的制造中,真空脱气用于去除钢水中溶解的气体成分,真空渗碳炉通过碳在钢表面的渗透和扩散使之提高耐磨性,以及真空熔炼炉用于高性能合金的精炼。这些用途都需在几分钟内将排气速度达到数10帕,且在其过程中会产生含有大量粉尘的气体。

化学

石化厂使用从原油中分馏出的石脑油,生产塑料、合成橡胶、合成纤维、涂料和用于清洁的表面活性剂等各种石化产品。此外,在减压条件下的蒸馏、缩聚、干燥、脱气、除臭等各种工序中真空技术都发挥着重要的作用。

能源

在一些太阳能电池的制造过程中,需在真空环境中对光吸收层和功能膜进行沉积。敝司提供兼具大排气速度和高流量性能的磁悬浮轴承型涡轮分子泵的TGkine®-B系列TGkine®-R系列。在锂离子电池的制造过程中,材料的混合和干燥,电解液的填充等也需在真空环境下进行。在这些工序中,使用对其材料有耐性的干式真空泵和滑阀真空泵和罗茨真空泵组合的排气机组

医疗药品

药品制造涉及使用真空蒸馏和冷冻干燥工艺来处理精细成分。蒸汽喷射泵和液封式真空泵适合水等可凝性气体的排气特性的真空排气。 医疗器具进行灭菌的医疗用高压蒸汽灭菌装置和氧化乙烯气体灭菌装置、过氧化氢低温等离子体灭菌装置,通常使用双级旋片泵。

理化学机器

质谱仪,电子显微镜,X射线衍射仪等,精密分析仪和测量仪器,测量时为了排除空气的影响通常内部进行抽真空。在质谱仪和氦气检漏仪中材料导入部分和检测器进行差压排气,通常采用一台具有压缩比不同的多个进气口的分流型涡轮分子泵。大阪真空承接对应各种特殊设备规格的订单。

显示屏幕

平板显示器是在大型玻璃和树脂基板上反复进行溅射、CVD、光刻、蚀刻、离子注入等工序制造的。其诸多工序都需要在真空环境下进行。在溅射工艺中,要求对重Ar气体具有大排气速度和流量性能,以及对镀膜粉吸引的能力。大阪真空可提供相对应的磁悬浮轴承型涡轮分子泵TGkine®-B系列TGkine®-R系列、TG-M系列、脂润滑轴承型涡轮分子泵TG-F系列

宇宙,研究开发

真空环境也以各种方式被用于大型科学项目,如宇宙探索、ITER和粒子加速器,以及各种规模的研究机构和实验室。

机械工业

电子束焊接,例如用于焊接齿轮,使用电子束在高真空中加速和聚焦来连接物体。电子枪部通常使用全方位安装小型涡轮分子泵进行真空排气。焊接腔体内部也以大排气速度从大气压反复排气。敝司提供罗茨真空泵RD系列和摇动活塞形油旋转泵P系列的组合阵容。

食品

为了让肉类、蔬菜、熟食等在更长时间内保持品质,会采用真空包装或在真空环境中进行快速冷却。本公司提供P系列滑阀真空泵,其特点是坚固耐用,能够承受来自大气压力的反复抽气;同时还提供W系列液封式真空泵,适用于含水气体的排气。真空冷冻干燥设备用于干燥对热敏性成分,同时保存它们。 对于这种设备,我们提供 P系列滑阀真空泵、W系列液环式真空泵和 RD系列罗茨真空泵以实现更高的抽速。

重型电机

电机、发电机和变压器可以通过在真空中干燥绕组以去除表面水分,然后在真空中用绝缘材料浸渍,从而长期保持其绝缘能力。 电力电缆中使用的绝缘纸也是在真空中干燥的,以确保它能长期保持其绝缘能力。 这些真空干燥过程需要很高的排气速度,排放的气体中含有大量的水分。

搬送

对于输送大尺寸的盘子和低强度、低硬度的纸张,使用真空吸盘来吸着物体并进行输送。 真空输送机还用于食品加工、医药制造和塑料材料(颗粒)的输送,在低于大气压力的气流中输送粉末和颗粒状材料。

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