产品信息
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- 涡轮分子泵
- TG2400F
TG2400F
- 全方位安装
- 轻巧设计
- 节能
- 迅速启动
- 使用破控功能可迅速停止
- 耐大气冲击能力强
- 多种通信模式
- 符合安全规格NRTL/SEMI-S2/CE
用途
- 半导体制造
- 电子枪排气，离子源排气
- FPD制造
- 表面处理，表面改质
- 各种电子部件的制造
- 分析，试验装置
- 管球制造，光学部件制造
- 加速器，放射线设施，核聚变研究
- 热处理
- 研究开发
※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。
规格
| 型号 | TG2400F | TG2400F-40 | |
| 吸气口法兰 | VG250/ISO-B250 | ||
| 排气速度 | N2 (L/s) | 2400 | |
| N2(附带金属保护网) (L/s) | 2300 | ||
| H2 (L/s) | 1100 | ||
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 | |
| H2 | 1.4×103 | ||
| 极限压力 | (Pa/Torr) | <1×10-6/<7.5×10-9 | |
| 最大气体流量※1※2 | (sccm) | 900 | 1500 |
| 启动时间 | (min) | 5-7 | |
| 停止时间 | (min) | 15-18 | |
| 允许辅助压力 | (Pa/Torr) | 200/1.5 | |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧500 | |
| 安装角度 | 任意 | ||
| 重量 | 风冷/水冷 | 45/47 | |
| 控制器型号 | TC2403 | TC2403-10※3 | |
※1：辅助泵的容量是1000L/min情况下的最大容许流量
※2：电源型号不同的话规格也不同
※3：用于TG2400F-40
[ 使用环境温度 ]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。
外观尺寸表
| Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ |
| VG250 | φ350 | 16 | 340 |
| ISO-B250 | φ335 | 16 | 340 |
- ●吸气口法兰对称分布于排气口。
- ※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
性能曲线
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
控制器
| 控制器型号 | TC2403 / TC2403-10 |
| 输入电压(ACV) | 200-230 (±10%) |
| 输入频率(Hz) | 50/60 |
| 相数 | 单相 |
| 所需最大电力(VA) | 1200 |
| 输出频率(Hz) | 520 |
| 重量(kg) | 8.2 |
| 标准附属品 | ・输入接头 1个 ・远控接插头 1个 ・通信接插头1个 ・杂波过滤器1个 ・使用说明书 (机身，通信)各1套 |
| 适用分子泵 | TG2400F/TG2400F-40 |