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TG240F

用途

・半导体制造
・电子枪排气，离子源排气
・FPD制造
・表面处理，表面改质
・各种电子部件的制造
・分析，试验装置
・管球制造，光学部件制造
・加速器，放射线设施，核聚变研究
・热处理
・研究开发

※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。

• 规格
• 外观尺寸表
• 性能曲线
• 控制器

规格

型号		TG240F
吸气口法兰		CF100/ISO-R100
排气速度	N2 (L/s)	240
	N2(附带保护金属网) (L/s)	230
	H2 (L/s)	160
最大压缩比	N2	1×108
	H2	4×104
极限压力	ISO-R(Pa/Torr)	<1×10-6/<7.5×10-9
	CF(Pa/Torr)	<5×10-7/<3.8×10-9
最大气体流量※1	N2 (sccm)	70
启动时间	(min)	5.5-6
允许辅助压力	(Pa/Torr)	700/5.3
推荐辅助泵	(L/min)	≧80
安装角度		任意
重量	ISO-R/CF(kg)	7.3/10.5
控制器型号		TC245(一体型)※2
输入电压（V）		DC24V
所需最大电力（W)		75W

• ※1：辅助泵的容量是80L/min情况下的最大容许流量
• ※2：可选择泵和控制器一体型(TC245)或者是分离式型(TC246)
• [ 对应气体种类 ]
• 由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。
• [ 使用环境温度 ]
• 极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是8～38℃
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外观尺寸表

• ●吸气口法兰对称分布于排气口。
• ※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。

性能曲线

• ※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
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控制器

控制器型号	TC246
输入电压(ACV)	100-230 (±10%)
输入频率(Hz)	50/60
相数	単相
所需最大电力(VA)	120
输出频率(Hz)	800
重量(kg)	2.4
标准附属品	・输入接头 1个 ・远控接插头 1个 ・取扱説明書(本体)：1套
适用真空泵	TG240F-20