产品信息

TG240F

  • TG240F

 ■高H2压缩比

 ■在高背压的情况下也可以连续运转,排气性能安定

 ■将电源控制器与分子泵一体化

 ■360度任意角度安装

 ■耐振动,可移动正在运转的真空泵

用途

・半导体制造
・电子枪排气,离子源排气
・FPD制造
・表面处理,表面改质
・各种电子部件的制造
・分析,试验装置
・管球制造,光学部件制造
・加速器,放射线设施,核聚变研究
・热处理
・研究开发

※排放腐蚀性气体时,请选择耐腐蚀性的TG-M,TG系列。


规格

型号 TG240F
吸气口法兰  CF100/ISO-R100
排气速度 N2 (L/s) 240
N2(附带保护金属网) (L/s) 230
H2 (L/s) 160
最大压缩比 N2 1×108
H2 4×104
极限压力 ISO-R(Pa/Torr) <1×10-6/<7.5×10-9
CF(Pa/Torr) <5×10-7/<3.8×10-9
最大气体流量※1 N2 (sccm) 70
启动时间 (min)  5.5-6
允许辅助压力 (Pa/Torr) 700/5.3
推荐辅助泵 (L/min) ≧80
安装角度 任意
重量 ISO-R/CF(kg)  7.3/10.5
控制器型号 TC245(一体型)※2
输入电压(V) DC24V
所需最大电力(W) 75W
  • ※1:辅助泵的容量是80L/min情况下的最大容许流量
  • ※2:可选择泵和控制器一体型(TC245)或者是分离式型(TC246)
  • [ 对应气体种类 ]
  • 由于排气的气体种类不同,可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。
  • [ 使用环境温度 ]
  • 极限压力保证环境温度是10~23℃。另外,容许环境温度是8~38℃
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外观尺寸表

外观尺寸表


  • ●吸气口法兰对称分布于排气口。
  • ※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。

性能曲线

性能曲线
性能曲线
  • ※未经许可,请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化,恕不另行通知。
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控制器

控制器


控制器


控制器型号 TC246
输入电压(ACV) 100-230 (±10%)
输入频率(Hz) 50/60
相数 単相
所需最大电力(VA) 120
输出频率(Hz) 800
重量(kg) 2.4
标准附属品 ・输入接头 1个
・远控接插头 1个
・取扱説明書(本体):1套
适用真空泵 TG240F-20