产品信息
- 大阪真空机器制作所 首页
- 产品信息
- 涡轮分子泵
- TG70F
TG70F
■H2最大压缩比达到了105，适用于排放轻气体
■在高倍压的情况下也可以连续运转，排气性能安定
■辅助泵可以使用隔膜泵，实现了设备的小型化以及减少成本！
■拥有将电源控制器与分子泵一体化和电源口控制器与分子泵独立化的两种产品
■360度任意角度安装
■耐振动，可移动正在运转的真空泵
用途
・半导体制造
・电子枪排气，离子源排气
・FPD制造
・表面处理，表面改质
・各种电子部件的制造
・分析，试验装置
・管球制造，光学部件制造
・加速器，放射线设施，核聚变研究
・热处理
・研究开发
※排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。
规格
| 型式 | TG70F | |
| 吸气口法兰 | ISO-R63/CF63 | |
| 排气速度 | N2 (L/s) | 70/75 |
| N2(保護金網付) (L/s) | 65/70 | |
| H2 (L/s) | 40/45 | |
| 最大压缩比 | N2 | 1×108 |
| H2 | 1×105 | |
| 极限压力 | ISO-R(Pa/Torr) | <5×10-7/<3.8×10-9 |
| CF (Pa/Torr) | <1×10-7/<7.5×10-10 | |
| 最大气体流量※1 | 自然风冷 N2 (sccm) | 10 |
| 强制风冷 N2 (sccm) | 20 | |
| 启动时间 | (min) | 2-2.5 |
| 停止时间 | (Pa/Torr) | 1200/9 |
| 推荐辅助泵 | (L/min) | ≧25 |
| 安装角度 | 自在 | |
| 重量 | ISO-R/CF(kg) | 3/5 |
| 控制器型号 | TC75（一体型）※2 | |
| 输入电压（V） | DC24V | |
| 所需最大电力（W) | 120W | |
- ※1：辅助泵的容量是25L/min情况下的最大容许流量
- ※2：可选择泵和控制器一体型(TC75)或者是分离式型(TC76)
- [ 对应气体种类 ]
- 由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。
- [ 使用环境温度 ]
- 极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度是8～38℃
外观尺寸表
| Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ | Ⓔ | Ⓕ |
| CF63 | φ114 | 18 | 170 | 76 | 141 |
| ISO-R63 | φ95 | 12 | 144.5 | 50.5 | 115.5 |
- ●吸气口法兰对称分布于排气口。
- ※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
性能曲线
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
控制器
| 控制器型号 | TC66 |
| 输入电压(ACV) | 100-230 |
| 输入频率(Hz) | 50/60 |
| 相数 | 单相 |
| 所需最大电力(VA) | 160 |
| 输出频率(Hz) | 1500 |
| 重量(kg) | 2.4 |
| 标准附属品 | ・输入接头 1个 ・远控接插头 1个 ・使用说明书：1套 |