| Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ | Ⓔ | Ⓕ | Ⓖ |
| VG100 | φ185 | 15 | 264 | 185 | 238 | 226 |
| CF100 | φ152 | 21 | 264 | 185 | 236 | 226 |
| ISO-R100 | φ130 | 12 | 262 | 183 | 234 | 224 |
滚珠轴承型涡轮分子泵
TS50
螺旋槽真空泵
产品特点
- 全段螺旋槽构造
- 在中/低真空领域中能大量排出气体
- 可承受300,000回以上的大气冲入
- 符合安全规格：NRTL/SEMI-S2
用途
- 半导体制造
- 电子枪排气，离子源排气
- 表面处理，表面改质
- 各种电子部件的制造
- 管球制造，光学部件制造
- 加速器，放射线设施，核聚变研究
- 热处理
- 研究开发
规格一览
规格
| 型号 | TS50 | |
|---|---|---|
| 吸气口 | VG100 / CF100 / ISO-R100 | |
| 排气口 | KF25 | |
| 排气速度 | N₂ (L/s) | 25 |
| N₂ (附加金属保护网) (L/s) | 23 | |
| H₂ (L/s) | 13 | |
| 最大压缩比 | N₂ | 2×10⁶ |
| H₂ | 50 | |
| 极限压力 | Pa | < 1×10⁻⁴ *³ |
| Torr | < 7.5×10⁻⁷ *³ | |
| 最大气体流量 *1 *2 | N₂ (sccm) | 600 |
| 启动时间 | min | 2.5～3.5 |
| 停止时间 | min | 2.5～5 |
| 允许辅助压力 | Pa | 1200 |
| Torr | 9 | |
| 推荐辅助泵 | L/min | ≧80 |
| 安装角度 | 垂直（±10°） | |
| 重量 | kg | 11 |
| 控制器型号 | TC203A | |
*1：1Pa・L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1气压)
*2：辅助泵的容量是160L/min情况下的最大容许流量
*3：48小时烘烤后得到的数值。
外观尺寸表
※进气口法兰螺栓孔为中心线对称分布。
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
性能曲线
【气体流量】
【排气速度】
※ Sf 为前级泵容量大小。
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
控制器
| 控制器型号 | TC203A |
|---|---|
| 输入电压 | AC100-110V / AC200-230V |
| 相数 | 单相 |
| 输入频率 (Hz) | 50/60 |
| 输出频率 (Hz) | 800 |
| 所需最大电力 (VA) | 610 |
| 重量 (kg) | 2.7 |
| 通信接口规格 | Parallel I/O・RS232C |
| 标准配件 | ・输入接插头：1个 ・远控接插头：1个 ・通信接插头：1个 ・使用说明书(本体、通信)：各1套 |
