磁悬浮轴承型涡轮分子泵 产品详情
磁悬浮轴承型涡轮分子泵

TGkineMI-R系列

反应生成物对应型磁悬浮涡轮分子泵

产品特点

针对内部容易出现反应生成物的设备,需要采取措施来防止设备内部反应生成物的堆积与固化。本公司是世界上第一家开发绝热结构/自加热机制,采用此构造能有效降低反应生成物的堆积与固化,充分延长分子泵的寿命与维护周期。

  • 以往产品的反应生成物对策
    包括对象部位的周围整体的加热。
    ・热度会分散。不能有效利用。
    ・其他部位也会受到热度的影响。
  • 通过使用TGkineMI-R系列
    使用外部加热器实现升温,同时利用在泵内部产生的气体的摩擦热,来使接触气体部位高效率地升温
    ・可以减小外部加热器的输出功率,得到节能的效果。
    ・可以防止主要部分受到热度影响,防止泵受损。
    ・保持了最佳温度,防止排气口堆积生成物。

用途

  • 半导体、FPD、MEMS制造等蚀刻设备
  • 易生成反应生成物并在高温下易挥发的设备

规格一览

规格

详情请咨询销售人员。

外观尺寸表

详情请咨询销售人员。

性能曲线

详情请咨询销售人员。

控制器

详情请咨询销售人员。

返回产品一览
磁悬浮轴承型涡轮分子泵
TGkineMI-R系列
返回首页