磁悬浮轴承型涡轮分子泵
TGkineMI-B系列
反应生成物对应型磁悬浮涡轮分子泵（控制器一体型）
产品特点
针对内部容易出现反应生成物的设备，需要采取措施来防止设备内部反应生成物的堆积与固化。本公司是世界上第一家开发绝热结构/自加热机制，采用此构造能有效降低反应生成物的堆积与固化，充分延长分子泵的寿命与维护周期。
- 以往产品的反应生成物对策
包括对象部位的周围整体的加热。
・热度会分散。不能有效利用。
・其他部位也会受到热度的影响。 - 通过使用TGkineMI-B系列
使用外部加热器实现升温，同时利用在泵内部产生的气体的摩擦热，来使接触气体部位高效率地升温
・可以减小外部加热器的输出功率，得到节能的效果。
・可以防止主要部分受到热度影响，防止泵受损。
・保持了最佳温度，防止排气口堆积生成物。
用途
- 半导体、FPD、MEMS制造等蚀刻设备
- 易生成反应生成物并在高温下易挥发的设备
规格一览
规格
| 型号※1 | TGkine 2200MI-B | TGkine 3300MI-B | TGkine 3400MI-B | TGkine 3800MI-B | TGkine 4200MI-B | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 吸气口 | ISO-B250 / VG250 | ISO-B320 / VG300 | VG350 | ISO-B320 / VG300 | VG350 | |
| 排气速度 | N₂(L/s) | 2200 | 3300 | 3600 | 4200 | |
| N₂ (附加金属保护网)(L/s) | 2100 | 3100 | 3400 | 4000 | ||
| Ｈ₂(L/s) | 1800 | 2700 | ||||
| 最大压缩比 | N₂ | ＞2×10⁸ | ＞1×10⁸ | ＞2×10⁸ | ||
| H₂ | ＞3×10³ | 2×10³ | ||||
| 极限压力 | Pa | ＜2×10⁻⁷ | ＜5×10⁻⁷ | |||
| Torr | ＜1.5×10⁻⁹ | ＜3.8×10⁻⁹ | ||||
| 最大气体流量※2 | N₂(sccm) | 5000 | 2500 | 2800 | ||
| Ar(sccm) | 3000 | 1800 | 2100 | |||
| 启动时间 | min | ≦10 | ≦11 | ≦12 | ||
| 停止时间 | min | ≦10 | ≦13 | ≦14 | ||
| 允许辅助压力 | Pa | 100 | 110 | 100 | ||
| Torr | 0.75 | 0.82 | 0.75 | |||
| 推荐辅助泵 | L/min | ≧2000 | ||||
| 重量 (kg) | 65 | ISO-B：74 VG：73 |
76 | ISO-B：89 VG：87 |
84 | |
※1：关于TGkine1700MI-B信息，请咨询销售人员。
※2：辅助泵有效抽速是5000L/min情况下的数值。
外观尺寸表
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性能曲线
详情请咨询销售人员。
