磁悬浮轴承型涡轮分子泵
TGkine1700M-B
电源・控制器一体型磁悬浮轴承型涡轮分子泵
产品特点
- 将电源控制器与分子泵一体化
- 省电设计
- 轻巧设计
- 对应防护等级IP54
- 多种通信接口
- 对应国际规格 CE/NRTL/SEMI-S2
用途
- 半导体制造设备
- FPD制造设备
- 太阳能电池制造设备
- 玻璃/镜片等光学元件加工
- 薄膜加工
- 加速器/宇宙环境模拟设备
规格一览
规格
| 型号 ※1 | TGkine1704M-B | TGkine1705M-B | |
|---|---|---|---|
| 吸气口 | ISO-B200/VG200 | ||
| 排气口 ※2 | KF40 | KF50 | |
| 排气速度 | N₂ (L/s) | 1650 | |
| N₂ (附加金属保护网) (L/s) | 1570 | ||
| H₂ (L/s) | 1550 | ||
| 最大压缩比 | N₂ | >2×10⁸ | |
| H₂ | 3×10³ | ||
| 极限压力 ※5 | Pa | <2×10⁻⁷ | |
| Torr | <1.5×10⁻⁹ | ||
| 最大气体流量 ※3 ※4 | N₂ (sccm) | 4400 | 4400 |
| Ar (sccm) | 2600 | 2600 | |
| 启动时间 | min | ≦10 | ≦10 |
| 停止时间 | min | ≦10 | ≦10 |
| 允许辅助压力 ※6 | Pa | 220 | |
| Torr | 1.65 | ||
| 推荐辅助泵 | L/min | ≧2000 | |
| 安装角度 | 任意 | ||
| 重量 | kg | 65 | |
| 输入电压 | AC200-240V | AC200-240V | |
| 相数 | 单相 | ||
| 输入频率 | Hz | 50/60 | |
| 所需电源 | VA | Max. 900 | |
| 电流 | A | Max. 5.3 | |
※1: 关于型号,请咨询销售人员。
※2: 根据型号规格有所不同
※3: 1Pa·L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1气压)
※4: 辅助泵抽速5000L/min情况下的数值。
※5: 48小时烘烤后得到的数值。
※6: N2气氛,泵无受损情况下可连续运转的最大排气口压力。
外观尺寸表
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
性能曲线
【气体流量】
【排气速度】
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