| Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ | Ⓔ | Ⓕ |
| CF63 | φ114 | 18 | 170 | 76 | 141 |
| ISO-R63 | φ95 | 12 | 144.5 | 50.5 | 115.5 |
滚珠轴承型涡轮分子泵
TG60F
脂润滑滚珠轴承涡轮分子泵
产品特点
- 全方位安装
- 轻巧设计
- 节能
- 迅速启动
- 使用破控功能可迅速停止
- 耐大气冲击能力强
- 多种通信模式
- 高压缩比
- TG60F：控制器一体型、TG60F-20：控制器分离型
- 符合安全规格：NRTL/SEMI-S2/CE（※仅限TG60F-20）
用途
- 半导体制造
- FPD制造
- 各种电子部件的制造
- 分析，试验装置
- 研究开发
规格一览
规格
| 型号 | TG60F | TG60F-20 | |
|---|---|---|---|
| 吸气口 | ISO-R63 / CF63 / (KF40) ※3 | ||
| 排气口 | KF16 | KF16 | |
| 排气速度 | N₂ (L/s) | 60 | |
| N₂ (附加金属保护网) (L/s) | 55 | ||
| H₂ (L/s) | 22 | ||
| 最大压缩比 | N₂ | 2×10⁷ | |
| H₂ | 3×10³ | ||
| 极限压力 | Pa | <5×10⁻⁶ (ISO-R) / <1×10⁻⁶ (CF) | |
| Torr | <3.8×10⁻⁸ (ISO-R) / <7.5×10⁻⁹ (CF) | ||
| 最大气体流量 ※1 | N₂ (sccm) | 10 (自然风冷) / 20 (強制风冷) | 10 (自然风冷) / 20 (強制风冷) |
| 启动时间 | min | 1.5～2 | 1.5～2 |
| 停止时间 | min | 15～25 | 15～25 |
| 允许辅助压力 | Pa | 800 | |
| Torr | 6 | ||
| 推荐辅助泵 | L/min | ≧ 25 | |
| 安装角度 | 任意 | ||
| 重量 | kg | 【TG60F】3.4 (ISO-R) / 5.4 (CF) 【TG60F-20】3 (ISO-R) / 5 (CF) | |
| 控制器型号 ※2 | TC65 | TC66 | |
※1：前级泵容量为25L/min时的最大允许气体流量。
※2：可从真空泵与控制器一体化（TC65）和真空泵与控制器分离化（TC66）当中选择
※3：吸气口法兰KF40 规格请咨询销售人员。
［使用环境温度］
极限压力的保证环境温度为 10 ～ 23°C。真空泵许容环境温度为 8 ～ 38°C。
［适用气体］
根据所用气体的种类，可能会导致轴承润滑脂和内部组件的劣化。有关适用气体的信息，请咨询销售人员。
外观尺寸表
※ 吸气口法兰对称分布于排气口。
※ 上记尺寸图为TG60F（控制器一体型）。TG60F-20 为控制器分离型。
※ 未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
性能曲线
【气体流量】
【排气速度】
※ Sf 为前级泵容量大小。
※ 未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
控制器
| 控制器型号 | TC65 | TC66 |
|---|---|---|
| 输入电压 | DC 24 V | AC100-230V |
| 相数 | － | 单相 |
| 输入频率 (Hz) | 50/60 | 50/60 |
| 输出频率 (Hz) | 1150 | 1150 |
| 所需最大电力 (VA) | 120 (W) | 240 |
| 重量 (kg) | － | 2.4 |
| 通信接口规格 | Parallel I/O・RS232C | Parallel I/O・RS232C |
| 标准配件 | ・输入接头 1个 ・远控接插头 1个 ・使用说明书：1套 |
・输入接头 1个 ・远控接插头 1个 ・使用说明书：1套 |
| 适用机种 | TG60F | TG60F-20 |
