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| VG500 | φ625 | 25 | 560 | 447 |
滚珠轴承型涡轮分子泵
TG5500/TG5503
油润滑轴承型涡轮分子泵
产品特点
- 可提供标准型与耐腐蚀气体型两种分子泵
- 世界最大的复合分子泵
- 耐大气冲击能力强
- 耐外部冲击强
用途
- 半导体制造
- 电子枪排气，离子源排气
- FPD制造
- 表面处理，表面改质
- 各种电子部件的制造
- 管球制造，光学部件制造
- 加速器，放射线设施，核聚变研究
- 热处理
- 研究开发
※ 无油工艺排气请选择TG-M系列、TGkine系列
规格一览
规格
| 型号 | TG5500/TG5503 | |
|---|---|---|
| 吸气口 | VG500 | |
| 排气口 | KF50 | |
| 排气速度 | N₂ (L/s) | 5500 |
| N₂ (附加金属保护网) (L/s) | 5200 | |
| H₂ (L/s) | 4400 | |
| 最大压缩比 | N₂ | 1×10⁸ |
| H₂ | 5×10³ | |
| 极限压力 | Pa | <1×10⁻⁶ |
| Torr | <7.5×10⁻⁹ | |
| 最大气体流量 ※1 | N₂ (sccm) | 1200 |
| 启动时间 | min | 25～35 |
| 停止时间 | min | 30～40 |
| 允许辅助压力 | Pa | 200 |
| Torr | 1.5 | |
| 推荐辅助泵 | L/min | ≧1500 |
| 安装角度 | 垂直（±10°） | |
| 润滑油量 | mL | 1000 |
| 重量 | kg | 250 |
| 控制器型号 | TC5503 | |
※1：前级泵容量为3000L/min时的最大允许气体流量。
[ 使用环境温度]
极限压力的保证环境温度为 10 ～ 23°C。风冷型真空泵许容环境温度为 10 ～ 32°C。水冷型真空泵许容环境温度为 10 ～ 40°C。极限压力保证时的冷却水温为 30℃ 以下，允许的冷却水温范围为 10 ～ 35℃。
[ 适用气体 ]
根据所用气体的种类，可能会导致轴承润滑油和内部组件的劣化。有关适用气体的信息，请咨询销售人员。
外观尺寸表
※进气口法兰螺栓孔为中心线对称分布。
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
性能曲线
【气体流量】
【排气速度】
※ Sf 为前级泵容量大小。
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
控制器
| 控制器型号 | TC5503 |
|---|---|
| 输入电压 | AC 200-230 V |
| 相数 | 单相 |
| 输入频率 (Hz) | 50/60 |
| 输出频率 (Hz) | 500 |
| 所需最大电力 (VA) | 2200 |
| 重量 (kg) | 8.7 |
| 通信接口规格 | Parallel I/O・RS232C |
| 标准配件 | ・输入接插头 1个 ・远控接插头 1个 ・通信接插头 1个 ・杂波过滤器 1个 ・使用说明书(本体，通信) 1套 |
