| Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ |
| VG100 | φ185 | 15 | 263 |
| CF100 | φ152 | 21 | 269 |
| ISO-B100 | φ165 | 12 | 260 |
磁悬浮轴承型涡轮分子泵
TG390M
磁悬浮轴承型涡轮分子泵
产品特点
- 全方位安装
- 轻巧设计
- 节能
- 分子泵停止与启动时间短
- 附带维护警报机能
- 低振动
- 无需调整
- 自动校准
- 可控制转子旋转速度
- 大流量排气
- 符合安全规格 NRTL/SEMI-S2/CE
用途
- 半导体制造
- 电子枪排气，离子源排气
- FPD制造
- 表面处理，表面改质
- 各种电子部件的制造
- 分析，试验装置
- 管球制造，光学部件制造
- 加速器，放射线设施，核聚变研究
- 热处理
- 研究开发
规格一览
规格
| 型号 | TG390M | |
|---|---|---|
| 吸气口 | ISO-B100/VG100/CF100 | |
| 排气口 | KF25 | |
| 排气速度 | N₂ (L/s) | 340 |
| N₂ (附加金属保护网) (L/s) | 320 | |
| H₂ (L/s) | 290 | |
| 最大压缩比 | N₂ | 1×10⁸ |
| H₂ | 4.5×10³ | |
| 极限压力 | Pa | <1×10⁻⁶ (VG・ISO-B) / <1×10⁻⁷ (CF) |
| Torr | <7.5×10⁻⁹ (VG・ISO-B) / <7.5×10⁻¹⁰ (CF) | |
| 最大气体流量 ※1 | N₂ (sccm) | 2000 |
| Ar (sccm) | 700 | |
| 启动时间 | min | 2～3 |
| 停止时间 | min | 4～5 |
| 允许辅助压力 | Pa | 400 |
| Torr | 3.0 | |
| 推荐辅助泵 | L/min | ≧160 |
| 安装角度 | 任意 | |
| 重量 | kg | 14 (VG・ISO-B) / 17 (CF・耐腐蚀性) |
| 控制器型号 | TC010MB | |
※1：辅助泵的容量是320L/min情况下的最大容许流量
[ 使用周囲温度 ]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。
关于对应的气体种类请咨询销售人员。
外观尺寸表
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
性能曲线
【气体流量】
【排气速度】
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控制器
| 控制器型号 | TC010MB |
|---|---|
| 输入电压 | AC200-240V (±10%) |
| 相数 | 单相 |
| 输入频率 (Hz) | 50/60 |
| 输出频率 (Hz) | 680 |
| 所需最大电力 (VA) | 700 |
| 重量 (kg) | 11 |
| 通信接口规格 | Remote・RS232C |
| 标准配件 | ・输入电缆(5m)： 1根 ・远控接插头：1个 ・使用说明书 (本体，通信)：各一本 |
