| Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ |
| VG100 | φ185 | 15 | 230 |
| CF100 | φ152 | 21 | 230 |
| ISO-R100 | φ130 | 12 | 214 |
滚珠轴承型涡轮分子泵
TG350F
脂润滑滚珠轴承涡轮分子泵
产品特点
- 全方位安装
- 轻巧设计
- 节能
- 使用破控功能可迅速停止
- 耐大气冲击能力强
- 多种通信模式
- 符合安全规格：NRTL/SEMI-S2/CE
用途
- 半导体制造
- 电子枪排气，离子源排气
- FPD制造
- 表面处理，表面改质
- 各种电子部件的制造
- 分析，试验装置
- 管球制造，光学部件制造
- 加速器，放射线设施，核聚变研究
- 热处理
- 研究开发
※ 排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。
规格一览
规格
| 型号 | TG350F | |
|---|---|---|
| 吸气口 | VG100 / ISO-R100 / CF100 | |
| 排气口 | KF25 | |
| 排气速度 | N₂ (L/s) | 350 (VG) / 330 (ISO-R・CF) |
| N₂ (附加金属保护网) (L/s) | 330 (VG) / 310 (ISO-R・CF) | |
| H₂ (L/s) | 210 | |
| 最大压缩比 | N₂ | 1×10⁸ |
| H₂ | 2×10³ | |
| 极限压力 | Pa | <1×10⁻⁶ |
| Torr | <7.5×10⁻⁹ | |
| 最大气体流量 ※1 | N₂ (sccm) | 500 |
| 启动时间 | min | 2～2.5 |
| 停止时间 | min | 5～6.5 |
| 允许辅助压力 | Pa | 260 |
| Torr | 2 | |
| 推荐辅助泵 | L/min | ≧80 |
| 安装角度 | 任意 | |
| 重量 | kg | 6 (VG・ISO-R) / 9 (CF) |
| 控制器型号 | TC353A | |
※1：辅助泵的容量是160L/min情况下的最大容许流量
[ 使用环境温度 ]
极限压力保证环境温度是10～23℃。另外，容许环境温度在空冷情况下是10～32℃，水冷情况下是10～40℃。极限压力保证冷却水温在30℃以下时容许冷却水温是10～35℃。
[ 对应气体种类 ]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。关于对应的气体种类请咨询销售人员。
外观尺寸表
※ 吸气口法兰对称分布于排气口。
※ 未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
性能曲线
【气体流量】
【排气速度】
※ Sf 为前级泵容量大小。
※ 未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
控制器
| 控制器型号 | TC353A |
|---|---|
| 输入电压 | AC 100-110 V / AC 200-230 V |
| 相数 | 单相 |
| 输入频率 (Hz) | 50/60 |
| 输出频率 (Hz) | 750 |
| 所需最大电力 (VA) | 610 |
| 重量 (kg) | 2.7 |
| 通信接口规格 | Parallel I/O・RS232C |
| 标准配件 | ・输入接头 1个 ・远控接插头 1个 ・通信接插头1个 ・使用说明书 (机身，通信)各1套 |
