滚珠轴承型涡轮分子泵
TG240F
脂润滑滚珠轴承涡轮分子泵
产品特点
- 全方位安装
- 高H2压缩比
- 在高背压的情况下也可以连续运转，排气性能安定
- TG240F：控制器一体型、TG240F-20：控制器分离型
- 耐振动，可移动正在运转的真空泵
用途
- 半导体制造
- 电子枪排气，离子源排气
- FPD制造
- 表面处理，表面改质
- 各种电子部件的制造
- 分析，试验装置
- 管球制造，光学部件制造
- 加速器，放射线设施，核聚变研究
- 热处理
- 研究开发
※ 排放腐蚀性气体时，请选择耐腐蚀性的TG-M，TG系列。
规格一览
规格
| 型号 | TG240F | TG240F-20 | |
|---|---|---|---|
| 吸气口 | ISO-R100 / CF100 | ||
| 排气口 | KF25 | KF25 | |
| 排气速度 | N₂ (L/s) | 240 | |
| N₂ (附加金属保护网) (L/s) | 230 | ||
| H₂ (L/s) | 160 | ||
| 最大压缩比 | N₂ | 1×10⁸ | |
| H₂ | 4×10⁴ | ||
| 极限压力 | Pa | <1×10⁻⁶ (ISO-R) / <5×10⁻⁷ (CF) | |
| Torr | <7.5×10⁻⁹ (ISO-R) / <3.8×10⁻⁹ (CF) | ||
| 最大气体流量 ※1 | N₂ (sccm) | 70 | 70 |
| 启动时间 | min | 5.5～7.5 | 5.5～7.5 |
| 停止时间 | min | 45～60 | 45～60 |
| 允许辅助压力 | Pa | 700 | |
| Torr | 5.3 | ||
| 推荐辅助泵 | L/min | ≧80 | |
| 安装角度 | 任意 | ||
| 重量 | kg | 【TG240F】7.3 (ISO-R) / 10.5 (CF) 【TG240F-20】6.9 (ISO-R) / 10.1 (CF) | |
| 控制器型号 ※2 | TC245 | TC246 | |
※1：前级泵容量为80L/min时的最大允许气体流量。
※2：可从真空泵与控制器一体化（TC245）和真空泵与控制器分离化（TC246）当中选择
［使用环境温度］
极限压力的保证环境温度为 10 ～ 23°C。真空泵许容环境温度为 8 ～ 38°C。
［适用气体］
根据所用气体的种类，可能会导致轴承润滑脂和内部组件的劣化。有关适用气体的信息，请咨询销售人员。
外观尺寸表
※ 吸气口法兰对称分布于排气口。
※ 上记尺寸图为TG240F（控制器一体型）。TG240F-20 为控制器分离型。
※ 未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
性能曲线
【气体流量】
【排气速度】
※ Sf 为前级泵容量大小。
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控制器
| 控制器型号 | TC245 | TC246 |
|---|---|---|
| 输入电压 | DC 24 V | AC100-230V |
| 相数 | － | 单相 |
| 输入频率 (Hz) | 50/60 | 50/60 |
| 输出频率 (Hz) | 800 | 800 |
| 所需最大电力 (VA) | 75 (W) | 170 |
| 重量 (kg) | － | 2.4 |
| 通信接口规格 | Parallel I/O・RS232C | Parallel I/O・RS232C |
| 标准配件 | ・输入接头 1个 ・远控接插头 1个 ・使用说明书：1套 |
・输入接头 1个 ・远控接插头 1个 ・使用说明书：1套 |
| 适用机种 | TG240F | TG240F-20 |
