| Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ |
| VG200 | φ300 | 16 | 349 |
| CF200 | φ253 | 25 | 410 |
| ISO-B200 | φ285 | 16 | 384 |
磁悬浮轴承型涡轮分子泵
TG1307M
磁悬浮轴承型涡轮分子泵
产品特点
- 省电力设计
- 工作数据,轴承接触次数,机种情报等都可存储于分子泵本体
※进行保养时即使更换控制器,数据也可进行转移
- 多种通信规格(可对应EtherCAT)
- 国际规格符合CE,SEMI-S2,NRTL规格
用途
- 半导体制造设备
- FPD制造设备
- 太阳能电池制造设备
- 玻璃/镜片等光学部件加工
- 薄膜加工
- 加速器/宇宙环境模拟设备
规格一览
规格
| 型号 ※1 | TG1307M | |
|---|---|---|
| 吸气口 | VG200/ISO-B200/CF200 | |
| 排气口 | KF40 | |
| 排气速度 | N₂ (L/s) | 1300 |
| N₂ (附加金属保护网) (L/s) | 1230 | |
| H₂ (L/s) | 1200 | |
| 最大压缩比 | N₂ | 1×10⁸ |
| H₂ | 1.5×10⁴ | |
| 极限压力 ※4 | Pa | <1×10⁻⁶ (VG・ISO-B) / <1×10⁻⁷ (CF) |
| Torr | <7.5×10⁻⁹ (VG・ISO-B) / <7.5×10⁻¹⁰ (CF) | |
| 最大气体流量 ※2 ※3 | N₂ (sccm) | 3000 |
| Ar (sccm) | 1500 | |
| 启动时间 | min | ≦5 |
| 停止时间 | min | ≦5 |
| 允许辅助压力 | Pa | 500 |
| Torr | 3.8 | |
| 推荐辅助泵 | L/min | ≧250 |
| 安装角度 | 任意 | |
| 重量 | kg | 37 (VG・ISO-B) / 45 (CF・耐腐蚀性) |
| 控制器型号 | TC0311M | |
※1: 关于型号,请咨询销售人员。
※2: 1Pa·L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1气压)
※3: 辅助泵抽速1000L/min情况下的数值。
※4: 48小时烘烤后得到的数值。
关于耐腐蚀性,反应生成物对应型,请咨询本公司销售人员
外观尺寸表
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
性能曲线
【气体流量】
【排气速度】
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控制器
| 控制器型号 | TC0311M |
|---|---|
| 输入电压 | AC200～240V (-15~+10%) |
| 相数 | 单相 |
| 输入频率 (Hz) | 50/60 |
| 输出频率 (Hz) | 560 |
| 所需最大电力 (VA) | 900 |
| 重量 (kg) | 8 |
| 通信接口规格 | Parallel I/O・RS232C・RS485・ Profibus・DeviceNet・EtherCAT |
| 标准配件 | ・输入电缆(5m)：1本 ・使用说明书(控制器本体、串联通信)：各1册 |
