磁悬浮轴承型涡轮分子泵
TG-MI系列
反应生成物对应型磁悬浮涡轮分子泵
产品特点
针对内部容易出现反应生成物的设备，需要采取措施来防止设备内部反应生成物的堆积与固化。本公司是世界上第一家开发绝热结构/自加热机制，采用此构造能有效降低反应生成物的堆积与固化，充分延长分子泵的寿命与维护周期。
- 以往产品的反应生成物对策
包括对象部位的周围整体的加热。
・热度会分散。不能有效利用。
・其他部位也会受到热度的影响。 - 通过使用TG-MI系列
使用外部加热器实现升温，同时利用在泵内部产生的气体的摩擦热，来使接触气体部位高效率地升温
・可以减小外部加热器的输出功率，得到节能的效果。
・可以防止主要部分受到热度影响，防止泵受损。
・排气口采用了绝缘材料。保持了最佳温度，防止排气口堆积生成物。
用途
- 半导体、FPD、MEMS制造等蚀刻设备
- 易生成反应生成物并在高温下易挥发的设备
规格一览
规格
| 型号 | TG390MI | TG420MI | TG900MI | TG1300MI | TG2400MI | |
|---|---|---|---|---|---|---|
| 吸气口 | ISO-B100 / VG100 | ISO-B160 / VG150 | ISO-B160 / VG150 | ISO-B200 / VG200 | ISO-B250 / VG250 | |
| 排气口 | KF25 | KF40 | ||||
| 排气速度 | N₂(L/s) | 340 | 400 | 900 | 1300 | 2400 |
| N₂(附加金属保护网)(L/s) | 320 | 370 | 860 | 1230 | 2300 | |
| Ｈ₂(L/s) | 290 | 300 | 1050 | 1200 | 1100 | |
| 最大压缩比 | N₂ | 1×10⁸ | ||||
| H₂ | 4.5×10³ | 1.5×10⁴ | 8.3×10² | |||
| 极限压力 | Pa | ＜1×10⁻⁶ | ||||
| Torr | ＜7.5×10⁻⁹ | |||||
| 最大气体流量※1 | N₂(sccm) | 2000 | 3000 | |||
| 启动时间 | min | 2～3 | 4～5 | |||
| 停止时间 | min | 4～5 | ||||
| 允许辅助压力 | Pa | 350 | 500 | 150 | ||
| Torr | 2.6 | 3.8 | 1.1 | |||
| 推荐辅助泵 | L/min | ≧160 | ≧250 | ≧500 | ||
| 重量 (kg) | 18 | 42 | 56 | |||
| 控制器型号 | TC010MBT | |||||
※1：前级泵容量为320L/min（TG390/420MI）、1000L/min（TG900/1300/2400MI）时的最大允许气体流量。
※2：流量特性（性能曲线）与标准型相同。请参阅各机型的标准型。
外观尺寸表
详情请咨询销售人员。
性能曲线
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控制器
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