罗茨真空泵
RA100
电机直连型罗茨真空泵
产品特点
- 设计紧凑,易于串联成真空泵组。
- 由于接触气部分采用铝合金材质,因此不会生锈
- 由于内部轴封为非接触式,维护间隔是RD系列的2~3倍
- 操作人员可在同一侧检查两个油位,一个在加油口,另一个在排油口。
- 低噪音·低震动
用途
- 半导体、FPD
- 真空镀膜
- 金属、钢铁、产业机器
- 医疗、化学、医药品、食品
- 研究开发
规格一览
规格
| 型号 | RA100 | |
|---|---|---|
| 吸气口 | VG50 | |
| 额定排气速度 (50/60Hz) ※1 | ㎥/h | 90/110 |
| 容许压力差 [使用标准电机时] (kPa) | 50/60Hz | 9.3/8.0 |
| 极限压力 (Pa) | 单级滑阀泵为前级时 | 7×10⁻² |
| 双极滑阀泵为前级时 | 1.3×10⁻² | |
| 前级泵的基本排气速度 (㎥/h) | 18~36 | |
| 转速 (r/min) | 50/60Hz | 3000/3600 |
| 标准电机功率 (kW) | 0.4 | |
| 油量 (L) | 0.33 | |
| 冷却水量 (㎥/h) ※2 | 0.06 | |
| 重量 (kg) | 附带全封闭式风扇外置型电机 | 25 |
| 无电机 | 17 | |
※1:实际排气速度根据使用的前级泵不同会有所变化,详细请咨询我司销售人员。
※2:冷却水最高温度以30度为基准。
容许的环境温度:运行时为+10℃~+40℃、保管时为-5℃~+60℃。
请将水排净,以防保管真空泵时产生冻裂。
外观尺寸表

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