干式真空泵
FR060D
空冷型多级罗茨干式真空泵
产品特点
- 大气压下可连续运转
开放运转时的排气速度可达 到800L/min - 可吸入水蒸气
水蒸气处理量达到500g/hr - 缩短排气时间
到达极限真空时仍维持较大速度 - 空冷规格
用途
- 小型实验设备的排气
- 装载室，搬送式排气
- 分析・测量仪器的排气
- 吸附・搬送
- 加速器的排气
- 封装排气
- 电子枪，离子源的排气
- 干燥
- 溅射蒸镀等PVD设备排气
- 小型炉排气
- 分子泵等高真空泵的辅助泵
规格一览
规格
| 基本性能 | ||
|---|---|---|
| 型号 | FR060D-2（单相） / FR060D（三相） | |
| 吸气口 | KF40 | |
| 排气口 | KF40 | |
| 排气速度 (L/min) | 最大 | 1000 |
| 开放气镇时 | 800 | |
| 极限压力 (Pa) | 5.0 | |
| 极限压力 (Pa) | 通常 | 1.0 |
| 开放气镇时 | 2.0 | |
| 容许的环境温度 (℃) | 5-40 | |
| 最大水蒸汽处理量 (g/hr) ※1 | 500 | |
| 润滑油量 (mL) | 90 | |
| 质量（估值） (kg) | 75 | |
| 电源/功效 | ||
|---|---|---|
| 相数 | 单相 / 三相 | |
| 电压 (V) | 200-220 | |
| 容许变动电压 ※2 | ±10％ | |
| 频率 (Hz) | 50/60 | |
| 电源容量 (VA) | 3000 | |
| 极限压力时所需电力 (W) | 1100 | |
| 最大耗电量 (W) | 1300 | |
| 电流 (A) | 单相 | 11.1 |
| 三相 | 6.5 | |
| 其他 | |
|---|---|
| 冷却方式 | 空冷 |
※1 使用气镇时的处理量。
※2 ±10%的电压是波动容差，非稳定电压容差。
外观尺寸表
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性能曲线
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