干式真空泵
DSP501
小型螺杆干式真空泵
产品特点
- 便携型
小型、轻量化、易搬运
抗外部干扰强 - 低噪音
转子组件省略同步齿轮的设置，实现无噪音排气
配备隔音罩 - 洁净排气
无油蒸气和粒子的逆流 - 空冷型
仅电力需求，无需冷却水 - 低震动
螺杆型转子设计，有效防止排气脉冲 - 高速排气
内置旁通系统，大气压附近排气速度快 - 免维修
因转子组件省略同步齿轮的设置，可无需使用润滑油
免维修，无需更换轴封及润滑油 - 高效节能
省电设计 - 标准配置气镇功能
避免水蒸气凝结于真空泵中 - 国际规格
符合CE, SEMI, NRTL规格
用途
- SEM、光刻
- 分析设备
- 医疗设备
- 加速器、离子源、EB-Gun
- 装载室/ 搬送室排气
- 一般产业
- PVD
- R&D
规格一览
规格
| 基本性能 | ||
|---|---|---|
| 型号 | DSP501 | |
| 吸气口 | KF40 | |
| 排气口 | KF25 | |
| 排气速度 (L/min) | 无气镇 | 500 |
| 气镇 | 430 | |
| 极限压力 (Pa) | 无气镇 | 0.5 |
| 气镇 | 2 | |
| 质量（估值） (kg) | 21 | |
| 电源/功效 | ||
|---|---|---|
| 相数 | 单相 | |
| 电压 (V) | AC100-230 (±10%) | |
| 电源容量 (VA) | 660 | |
| 电源连接 | 平川Hutec制造 CM11 | |
| 极限压力时所需电力 (W) | 270 | |
| 最大耗电量 (W) | 600 | |
| 标准配件 |
|---|
| ・AC100V 用输出电缆：接地插头（3m） ・控制信号接口：D-sub 15 母针 ・使用说明书：中文版本 |
| 可选配件 |
|---|
| ・吸滤器（※4）：KF40 ・AC200V 用输出电缆 ・排气口消音器 ・固定真空泵工具 |
※１ 可能因异物进入造成危险时，请安装吸滤器等适合的防范措施。
※２ 真空泵对热传导率低的气体进行排气时，有可能造成转子/定子的接触而造成破损。因为真空泵温度会随着排气条件进行变化。在使用时，请咨询敝司销售人员。
※３ 导入氦气及氢气等轻体分子气体时，或包含大量的凝缩性成分时，可能会对真空泵性能，运行造成限制，使用时请事先咨询敝司销售人员。
※４ 为了在真空泵使用后防止水蒸气凝结，及改善轻气体的排气性能，请从气镇导入干燥空气或氮气。
外观尺寸表
※未经许可请不要复制或转载本产品信息。本公司有权对记载内容进行更改，恕不另行通知。
性能曲线
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