开始销售全方位安装型复合分子泵TG-F系列
八王子(东京)取得ISO9001认证
与韩国新元精密工业有限公司(现・Shin Won Tech. Co., Ltd.)签署了TMP修理业务的代理店合同
完成了干式真空泵DSP80
名张(三重县)工厂取得ISO9002认证
(现已转为ISO9001)
于大韩民国首尔市设立首尔支店(2004年搬迁至城南市)
与台湾九德松益股份有限公司签署了TMP销售与修理业务的代理店合同
因成功开发出对应极高真空的磁悬浮复合分子泵、荣获日本国内第20回真空技术奖
完成了对应极高真空的磁悬浮复合分子泵TG1121M(极限压力10-10Pa)
向大型同步辐射光源研究所「SPring-8」交付了主要设备排气用TMP
完成了高真空螺旋槽分子泵TS440
因在真空业界取得功绩,荣获日本蓝绶褒章
于美国加州圣何塞市设立加利福尼亚支店
完成了最大的涡轮分子泵TH25000
因在真空业界取得功绩,荣获日本科学技术厅局长奖
完成了眼镜架用溅射设备
设立名张(三重县)工厂
因成功开发出复合分子泵、荣获日本国内机械学会技术奖
因成功开发出复合分子泵、荣获日本国内第10回真空技术奖
完成了磁悬浮复合分子泵TG600M的开发、并将其发展成产品系列
开始销售世界上最初的复合分子泵TG550 *1*2 、并将其发展成产品系列
开始生产对靶式溅射设备
开始生产日本原子能研究所核聚变反应堆JT60用真空设备
向京都大学交付了Heliotron E等离子实验设备用低温板
向日本电子技术综合研究所(现・日本产业技术综合研究所)交付了宇宙空间条件模拟舱
完成了脱气用蒸气喷射泵(口径2m)
向日本理化研究所的重离子加速器交付了4台TH5000
*此后,使用此加速器设备,森田准 主任及其研究团队于2001年开始进行全面的超重元素合成实验。于2004年,2005年和2012年成功观测出了鉨(Nh)元素
因将涡轮分子泵成功国产化、荣获日本国内第1回真空技术奖



