磁悬浮轴承型涡轮分子泵
TGkineMI-R系列
反应生成物对应型磁悬浮涡轮分子泵
产品特点
针对内部容易出现反应生成物的设备,需要采取措施来防止设备内部反应生成物的堆积与固化。本公司是世界上第一家开发绝热结构/自加热机制,采用此构造能有效降低反应生成物的堆积与固化,充分延长分子泵的寿命与维护周期。
- 以往产品的反应生成物对策
包括对象部位的周围整体的加热。
・热度会分散。不能有效利用。
・其他部位也会受到热度的影响。 - 通过使用TGkineMI-R系列
使用外部加热器实现升温,同时利用在泵内部产生的气体的摩擦热,来使接触气体部位高效率地升温
・可以减小外部加热器的输出功率,得到节能的效果。
・可以防止主要部分受到热度影响,防止泵受损。
・保持了最佳温度,防止排气口堆积生成物。
用途
- 半导体、FPD、MEMS制造等蚀刻设备
- 易生成反应生成物并在高温下易挥发的设备
规格一览
规格
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外观尺寸表
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性能曲线
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控制器
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