罗茨真空泵
R6002
大型皮带驱动型罗茨真空泵
产品特点
- 根据皮带驱动实现大量排气
- 适用于空间腔体、干燥、浇注、电子束焊接以及连续镀膜设备等大型腔体的排气
- 选择旁通阀（可选）可实现在高压强下发挥最大的排气能力
- 根据工艺不同可提供最适当的组合
用途
- 半导体、FPD
- 真空镀膜
- 金属、钢铁、产业机器
- 医疗、化学、医药品、食品
- 研究开发
规格一览
规格
| 型号 | R6002 | |
|---|---|---|
| 吸气口 | 300A JIS5KFF | |
| 额定排气速度 (50/60Hz) ※1 | ㎥/h | 6000 |
| 容许压力差 [使用标准电机时] (kPa) | 50/60Hz | 4.7 |
| 极限压力 (Pa) | 单级滑阀泵为前级时 | 7×10⁻² |
| 双极滑阀泵为前级时 | 1.3×10⁻² | |
| 前级泵的基本排气速度 (㎥/h) | 690～900 | |
| 转速 (r/min) | 50/60Hz | 1200 |
| 标准电机功率 (kW) | 11 | |
| 油量 (L) | 2.5 | |
| 冷却水量 (㎥/h) ※2 | 1.1 | |
| 重量 (kg) | 附带全封闭式风扇外置型电机 | 1050 |
| 无电机 | 940 | |
※1：实际排气速度根据使用的前级泵不同会有所变化，详细请咨询我司销售人员。
※2：冷却水温最高30℃
容许的环境温度：运行时为+10℃～+40℃、保管时为-5℃～+60℃。
请将水排净，以防保管真空泵时产生冻裂。
外观尺寸表
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
