| Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ | Ⓔ |
| VG150 | φ235 | 16 | 449 | 430 |
| CF160 | φ203 | 22 | 449 | 430 |
| ISO-B160 | φ225 | 16 | 449 | 430 |
滚珠轴承型涡轮分子泵
TS440/TS443
螺旋槽真空泵
产品特点
- 全段螺旋槽构造
- 在中/低真空领域中能大量排出气体
- 符合安全规格：NRTL/SEMI-S2
用途
- 半导体制造
- 电子枪排气，离子源排气
- 表面处理，表面改质
- 各种电子部件的制造
- 管球制造，光学部件制造
- 加速器，放射线设施，核聚变研究
- 热处理
- 研究开发
规格一览
规格
| 型号 | TS440/TS443 | |
|---|---|---|
| 吸气口 | VG150 / CF160 / ISO-B160 | |
| 排气口 | KF40 | |
| 排气速度 | N₂ (L/s) | 440 |
| N₂ (附加金属保护网) (L/s) | 410 | |
| H₂ (L/s) | 320 | |
| 最大压缩比 | N₂ | 2×10⁶ |
| H₂ | 1×10³ | |
| 极限压力 | Pa | <1×10⁻⁵ *³ |
| Torr | <7.5×10⁻⁸ *³ | |
| 最大气体流量 *1 *2 | N₂ (sccm) | 10860 |
| 启动时间 | min | 10～14 |
| 停止时间 | min | 23～28 |
| 允许辅助压力 | Pa | 2000 |
| Torr | 15 | |
| 推荐辅助泵 | L/min | ≧500 |
| 安装角度 | 垂直（±10°） | |
| 重量 | kg | 60 |
| 控制器型号 | TC443S | |
*1：1Pa・L/s(25℃)=0.543sccm(0℃、1气压)
*2：辅助泵的容量是160L/min情况下的最大容许流量
*3：48小时烘烤后得到的数值。
外观尺寸表
※进气口法兰螺栓孔为中心线对称分布。
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
性能曲线
【气体流量】
【排气速度】
※ Sf 为前级泵容量大小。
※未经许可，请勿转载。相关记载会根据产品更新等原因可能会变化，恕不另行通知。
控制器
| 控制器型号 | TC443S |
|---|---|
| 输入电压 | AC180-253V |
| 相数 | 单相 |
| 输入频率 (Hz) | 50/60 |
| 输出频率 (Hz) | 330 |
| 所需最大电力 (VA) | 2200 |
| 重量 (kg) | 8.2 |
| 通信接口规格 | Parallel I/O・RS232C |
| 标准配件 | ・输入接插头：1个 ・远控接插头：1个 ・通信接插头：1个 ・使用说明书(本体、通信)：各1套 |
