干式真空泵
ER100D/ER100DC
节能型多级罗茨干式真空泵
产品特点
- 同型号干式真空泵中的顶级节能，小型・轻量。
极限压力时的耗电量：400W
占地面积：0.11m2
重量：60Kg - 根据客户的需要，提供相应的规格。
ER100D：适用于轻负载洁净工艺的排气
ER100DC：使用了耐腐蚀能力强的材料，可排腐蚀性气体
用途
- 洁净排气
- 溅射装置的排气
- 分子泵等高真空泵的辅助泵
- 装载室，搬送式排气
- 小型实验设备的排气
- 吸附・ 搬送
- 分析
- 测量仪器的排气 ・型炉排气
- 电子枪，离子源的排气
规格一览
规格
| 基本性能 | ||
|---|---|---|
| 型号 | ER100D/ER100DC | |
| 吸气口 | KF50 | |
| 排气口 | KF25 | |
| 排气速度 (L/min) | 1670 | |
| 极限压力 (Pa) | 5.0 | |
| 质量（估值） (kg) | 60 | |
| 电源/功效 | ||
|---|---|---|
| 相数 | 三相 | |
| 电压 (V) | 200-220 | |
| 频率 (Hz) | 50/60 | |
| 电源容量 (VA) | 3200 | |
| 极限压力时所需电力 (W) | 400 | |
| 其他 | |
|---|---|
| N₂ 吹扫用气体流量 (Pa・㎥/s) | 17～20 |
| 冷却水量 (L/min) | 1.5～3.0 |
| 冷却水温度 (℃) | Max. 30 |
[对应气体种类]
由于排气的气体种类不同，可能导致泵内零件的老化。
关于可抽取的气体种类请咨询我司销售人员。
外观尺寸表
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性能曲线
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