製品情報

高真空アングルバルブ

  • 高真空アングルバルブ

高真空アングルバルブの特長

 

  • サイズは16Aから100Aまで対応。
  • 空圧作動アングルバルブは電源/空圧源故障時に、スプリングにより「閉じた」状態に戻る保護機能付き。
  • バルブボディ及び内部部品はステンレス材(SUS)を使用し、幅広い用途に使用可能。
  • 全シリーズで溶接ベローズAM350を採用することで、長寿命を実現しながら、大きなコンダクタンスも可能にしています。

仕様

軸シール AM350溶接ベローズ
弁板シール フッ素ゴム
ボンネットシール フッ素ゴム
使用流体 非腐食性ガス、不活性ガス
使用圧力範囲 2x105 Pa ~ 1.33x10-6 Pa
使用可能温度 0℃~100℃
リーク量  1.33x10-10 Pa・m3/s, He
メンテナンスサイクル 10万回※1
許容温度 バルブ本体 250℃開、200℃閉
駆動部(シリンダ) 100℃
電磁弁/開閉センサー 80℃
ベーキング温度  100℃
材質 バルブ本体 SUS304L
機構部 SUS304L
駆動部(シリンダー) アルミニウム
運転姿勢 自在
シリンダ供給圧空圧力 0.4 ~ 0.55 MPaG
シリンダ接続口径 Rc 1/8”
開閉センサー取付※2 オートスイッチ
電磁弁※2 標準 24V DC

 

※1:使用状況、環境により変わります。
※2:開閉センサー、電磁弁はオプション品です。

 

口径 16A 25A 40A 50A 63A 80A 100A
接続フランジ KF16
CF16
KF25
CF25
KF40
CF40
KF50
CF50
ISO-R63
CF63
ISO-R80 ISO-R100
CF100
弁板許容最大圧差 0.27MPa 0.24MPa 0.23MPa 0.2MPa 0.39MPa 0.39MPa 0.39MPa
弁開時許容最大差圧 0.2MPa
開閉動作時間(開/閉) 0.3s
0.5s
0.3s
0.5s
0.5s
0.8s
0.5s
0.8s
0.7s
0.7s
0.7s
0.7s
0.8s
0.8s
コンダクタンス 6L/s 15L/s 48L/s 82L/s 170L/s 220L/s 490L/s
駆動方式 単動 単動 単動 単動 複動 複動 複動

 

外観寸法図

外観寸法図


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