製品情報

DSP251 / DSP501

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■ クリーン排気

油蒸気やパーティクルの逆流がない

■ オイルフリー

同期ギアをなくし、潤滑油を使用しない設計

■ ポータブルタイプ

小型、軽量、外乱に強い

■ 空冷仕様

冷却水が不要で有利な設置条件

■ 高速ポンプダウン

高圧(大気圧付近)領域で大排気を実現

■ 省エネルギー

低消費電力設計

用途

  • SEM、リソグラフィ
  • 医療装置
  • ロードロック/搬送室排気
  • 分析機器
  • 加速器、イオン源、電子銃排気
  • 一般産業
  • PVD
  • R&D

仕様

 
型式 DSP251 DSP501
基本性能 排気速度 ガスバラスト無 L/min 230 500
ガスバラスト有 L/min 200 430
到達圧力 ガスバラスト無 Pa 0.5
ガスバラスト有 Pa 2

接続形式

吸気口 - KF25 KF40
排気口 - KF25
概略重量 kg 16 21
ユーティリティ 電源 単相
電圧 V AC100-230
±10%(50/60Hz)
電源容量 VA 450 660
接続 - 平川ヒューテック製
CM11
消費電力 到達圧力時 W 240 270
最大 380 600

外観寸法図

外観寸法図



※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線


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