製品情報

DSP251 / DSP501

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■ クリーン排気

 油蒸気やパーティクルの逆流がない

■ オイルフリー

 同期ギアをなくし、潤滑油を使用しない設計

■ ポータブルタイプ

 小型、軽量、外乱に強い

■ 空冷仕様

 冷却水が不要で有利な設置条件

■ 高速ポンプダウン

 高圧(大気圧付近)領域で大排気を実現

■ 省エネルギー

 低消費電力設計

用途

・SEM、リソグラフィ
・医療装置
・ロードロック/搬送室排気
・分析機器
・加速器、イオン源、電子銃排気
・一般産業
・PVD
・R&D


仕様

型式
DSP 251
DSP 501
基本性能
排気速度
ガスバラスト無
L/min
230
500
ガスバラスト有
L/min
200
430
到達圧力
ガスバラスト無
Pa
0.5
ガスバラスト有
Pa
2
接続形式
吸気口
-
KF25
KF40
排気口
-
KF25
概略重量
kg
16
21
ユーティリティ
電源
単相
単相
V
AC100-230
±10%(50/60Hz)
電源容量
VA
450
660
接続
-
平川ヒューテック製 
CM11
消費電力
到達圧力時
W
240
270
最大
380
600

外観寸法図

外観寸法図



※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線


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