製品情報

油拡散真空ポンプ

  • 油拡散真空ポンプ
  • 簡単に高真空を得る事ができ、真空熱処理炉、真空蒸着、電子ビーム溶接、スパッタ装置等の排気系など、幅広い真空プロセスに用いられています。
  • 10,000L/s(バッフルなし)以上の排気速度を持つポンプもラインアップしています。
  • 作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い高真空ポンプです。
  • 機械的な作動部がなく、堅牢で長寿命です。
  • 分解が簡単な構造なので、内部清掃・保守・点検が簡単です。

仕様

標準仕様
形式※1 DP2 DP3 DP4 DP6 DP8 DP10
排気速度
(L/s)
バッフルなし 125 280 380 810 1450 2070
標準バッフル付 58 150 215 465 790 1200
試験到達圧力(Pa) ~10-5
無負荷臨界背圧(Pa) 20 15
油逆流量-標準バッフル付
(mg/cm2・min)
<10-4
標準バッフル 水冷 ルーバー
ヒーター 電源 AC100V,1φ AC200,1φ
電力(kW) 0.33 0.5 0.7 1 1.4 1.9
油量(L) 0.05 0.1 0.15 0.34 0.5 0.82
冷却水量-バッフル用含む※2
(m3/h)
0.03 0.06 0.09 0.18 0.24 0.3
質量(kg) 4 6 8 20 30 41
基準補助ポンプ※3 VRD-4 VRD-8 VRD-24 VRD-48 P90 P180/P222

 

標準仕様
形式※1 DP14 DP18B DP22B DP24B DP28B DP36
排気速度
(L/s)
バッフルなし 3600 8000 12800 13200 17700 40000
標準バッフル付 2350 4600 6900 7900 9800 18000
試験到達圧力(Pa) ~10-5
無負荷臨界背圧(Pa) 15 59 65 65 67 27
油逆流量-標準バッフル付
(mg/cm2・min)
<10-4
標準バッフル 水冷 ルーバー
ヒーター 電源 AC200,3φ
電力(kW) 4.5 3.5 5.4 6.6 8 15
油量(L) 1.6 2.2 3 3.5 4.5 9
冷却水量-バッフル用含む※2
(m3/h)
0.42 0.3 0.42 0.6 上回路0.18以上
下回路0.54以上
2.4
質量(kg) 135 110 167 210 250 1000
基準補助ポンプ※3 ご仕様により選定

 

※1:末尾「B」は省エネ・省スペース型です。
※2:冷却水入口温度を25℃以下にしてください。
※3:補助真空ポンプは被排気系の大きさ、その他ご仕様に合わせて選定する必要があります。
詳細は当社営業担当にお問合せください。

 

標準付属品

  • 作動油(ライオンA)・・・1台分
  • 吸気口、排気口用ガスケット(二トリルゴム)・・・1式
  • 油面計(DP10以上)・・・1式
  • 給排油口(DP10以上)・・・1式
  • バイメタル(DP8~DP22B)・・・1式
  • サーモスタット(DP18B以上)・・・1式

外観寸法図

外観寸法図


  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。