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油拡散真空ポンプ

  • 油拡散真空ポンプ
  • 油拡散真空ポンプ

● 簡単に超高真空を得る事ができ、真空熱処理炉、真空蒸着、電子ビーム溶接、スパッタ装置等の排気系など、幅広い真空プロセスに用いられています。

● 10,000L/s(バッフルなし)以上の排気速度を持つポンプもラインアップしています。

● 作動油の突沸による圧力変動が少ない信頼性の高い超高真空ポンプです。

● 機械的な作動部がなく、堅牢で長寿命です。

● 分解が簡単な構造なので、内部清掃・保守・点検が簡単です。

仕様

標準仕様
形式※1
DP2
DP3
DP4
DP6
DP8
DP10
排気速度
(L/s)
バッフルなし
125
280
380
810
1450
2070
標準バッフル付
58
150
215
465
790
1200
試験到達圧力
(Pa)
~10-5
無負荷臨界背圧
(Pa)
20
15
油逆流量-標準バッフル付
(mg/cm2・min)
<10-4
標準バッフル
水冷 ルーバー
ヒーター
電源
AC100V,1φ
AC200,1φ
電力(kW)
0.33
0.5
0.7
1
1.4
1.9
油量(L)
0.05
0.1
0.15
0.34
0.5
0.82
冷却水量-バッフル用含む※2
(m3/h)
0.03
0.06
0.09
0.18
0.24
0.3
質量(kg)
4
6
8
20
30
41
基準補助ポンプ※3
C60
C180
C360
C800
P90
P180/P222

 

標準仕様
形式※1
DP14
DP18B
DP22B
DP24
DP28
DP36
排気速度
(L/s)
バッフルなし
3600
8000
12800
20000
23000
40000
標準バッフル付
2350
4600
6900
8000
12000
18000
試験到達圧力
(Pa)
~10-5
無負荷臨界背圧
(Pa)
15
59
65
33
30
27
油逆流量-標準バッフル付
(mg/cm2・min)
<10-4
標準バッフル
水冷 ルーバー
ヒーター
電源
AC200,3φ
電力(kW)
4.5
3.5
5.4
9
12
15
油量(L)
1.6
2.2
3
5
9
冷却水量-バッフル用含む※2
(m3/h)
0.42
0.3
0.42
0.9
2.4
質量(kg)
135
110
167
350
400
1000
基準補助ポンプ※3
ご仕様により選定
  • ※1:末尾「B」は省エネ・省スペース型です。
    ※2:冷却水入口温度を25℃以下にしてください。
    ※3:補助真空ポンプは被排気系の大きさ、その他ご仕様に合わせて選定する必要があります。
    詳細は当社営業担当にお問合せください。

 

  • 標準付属品

    作動油(ライオンA)・・・1台分
    吸気口、排気口用ガスケット(二トリルゴム)・・・1式
    油面計(DP10以上)・・・1式
    給排油口(DP10以上)・・・1式
    バイメタル(DP8~DP22B)・・・1式
    サーモスタット(DP18B以上)・・・1式

外観寸法図

外観寸法図


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