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TG3413
■標準形と、腐食性ガスの排気に強いケミカル形をラインナップ
■不意の大気突入に強い構造
■外部からの衝撃に強い
■シリアル通信可能
■安全規格
NRTL/SEMI-S2
用途
・半導体製造
・電子銃排気、イオン源排気
・FPD製造
・表面処理、表面改質
・各種電子部品製造
・管球製造、光学部品製造
・加速器、放射線施設、核融合研究
・熱処理
・研究開発
※クリーンプロセス向けはTG-Fシリーズ、TG-Mシリーズ、TGkineシリーズをお選びください。
仕様
外観寸法図
性能曲線
コントローラ