製品情報

TG553

  • TG553

 ■腐食性ガスの排気に強いケミカル形

 

 ■不意の大気突入に強い構造

 

 ■外部からの衝撃に強い

 

 ■シリアル通信可能

 

 ■安全規格

  NRTL/SEMI-S2

用途

・半導体製造

・電子銃排気、イオン源排気

・FPD製造

・表面処理、表面改質

・各種電子部品製造

・管球製造、光学部品製造

・加速器、放射線施設、核融合研究

・熱処理

・研究開発

※クリーンプロセス向けはTG-Fシリーズ、TG-Mシリーズ、TGkineシリーズをお選びください。


仕様

吸気口フランジ  VG150
CF160
ISO-B160
排気速度 N2 (L/s) 550
N2(保護金網付) (L/s) 430
H2 (L/s) 370
最大圧縮比  N2 1×108
H2 3×103
到達圧力  VG・ISO-B/CF (Pa) <1×10-6/< 1×10-7
VG・ISO-B/CF (Torr) <7.5×10-9/< 7.5×10-10
最大ガス流量※1 N2 (sccm) 1500
起動時間 (min)  8-13
停止時間 (min) 8-11
許容補助圧力 (Pa / Torr) 300/2.3
推奨補助ポンプ (L/min) 250
潤滑油量 (mL) 260
取付姿勢 垂直(±10°)
質量 (kg) 41
コントローラ型式 TC553
  • ※1:補助ポンプ容量を500L/minとした場合の許容最大流量
  • [ 使用周囲温度 ]
  • 到達圧力保証周囲温度は10~23℃です。又、許容周囲温度は10~40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10~35℃です。
  • [ 対応ガス種 ]
  • 吸引ガス種によっては、軸受潤滑油や内部部品を劣化させる場合があります。対応ガス種は当社にお問い合わせ下さい。

外観寸法図

外観寸法図


VG150 φ235 16 402 360
CF160 φ203 22 402 360
ISO-B160 φ225 16 402 360
  • ●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線
性能曲線
  • ※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

コントローラ

コントローラ


コントローラ


コントローラ型式 TC553
入力電圧(ACV) 200-230(±10%)
入力周波数(Hz) 50/60
入力相数 単相
最大所要電力(VA) 1200
出力周波数(Hz) 400
質量(kg) 8.2
標準付属品 ・入力コネクタ:1個
・リモートコネクタ:1個
・シリアル通信コネクタ:1個
・フェライトコア:1個
・取扱説明書(本体、シリアル通信):各1部