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反応生成物対応ターボ分子ポンプ　TG-MI シリーズの特長

反応生成物が堆積しやすい装置向けとして、当社独自の断熱構造/自己昇温機構を採用し、反応生成物堆積率を大幅に減少させたシリーズです。

• 従来の反応生成物対策
  対象部位を含めた周囲全体をヒーティングする方法
  ・熱が分散する。
  ・有効利用できない。
  ・対象部位外への熱影響

• TG-MIシリーズによる対策
  外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温
  ・外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上！！
  ・主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。
  ・排気配管にも断熱材を採用。最適な温度を維持し、排気配管内の生成物発生を防止。