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反応生成物対応 TG-MIシリーズ

  • 反応生成物対応 TG-MIシリーズ
  • 反応生成物対応 TG-MIシリーズ

 反応生成物が堆積しやすい装置向けとして、当社独自の断熱構造/自己昇温機構(特許第3098140)を採用し、反応生成物堆積率を大幅に減少させたシリーズです。

■従来の反応生成物対策

 対象部位を含めた周囲全体をヒーティングする方法

 ・熱が分散する。/有効利用できない。

 ・対象部位外への熱影響

 

■TG-MIシリーズによる対策

 外部ヒータによる昇温に加え、ポンプ内部で発生する吸引ガスとの摩擦熱を有効利用して、接ガス部を効率よく昇温

 ・外部ヒータの出力を抑えることができ、省エネ効果が向上!!

 ・主要部位への熱影響をおさえ、ポンプへのダメージを低減。

 ・排気配管にも断熱材を採用。最適な温度を維持し、排気配管内の生成物発生を防止。

用途

・半導体、FPD、MEMS製造等のエッチング装置

・反応生成物が発生しやすいプロセス装置


仕様

  TG390MI TG420MI TG900MI TG1300MI TG2400MI
吸気口フランジ VG100
ISO-B100
VG150
ISO-B160
VG150
ISO-B160
VG200
ISO-B200
VG250
ISO-B250
排気速度 N2(L/s) 340 400 900 1300 2400
N2(保護金網付)(L/s) 320 370 860 1230 2300
H2(L/s) 290 300 1050 1200 1100
最大圧縮比 N2 1×108
H2 4.5×103 1.5×104 8.3×102
到達圧力 (Pa/Torr) < 1×10-6/< 7.5×10-9
最大ガス流量※1  N2(sccm) 1000 3000
起動時間 (min) 2-3 4-5
停止時間 (min) 4-5
許容補助圧力 (Pa/Torr) 350/2.6 500/3.8 150/1.1
推奨補助ポンプ (L/min) ≧160 ≧250 ≧500
質量 (kg)  18 42 56
ターボコントローラ型式 TC010MAT
  • ※1:補助ポンプ容量を320L/min(TG390/420MI)、1000L/min(TG900/1300/2400MI)とした場合の許容最大流量。

外観寸法図

外観寸法図


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性能曲線

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コントローラ

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