製品情報

TG2400M

　■取付姿勢自在

　■コンパクトサイズ

　■省エネルギー

　■急速起動停止

　■メンテナンスコール

　■低振動

　■チューニングフリー

　■オートキャリブレーション

　■回転数コントロール

　■大流量排気

　■多様な通信仕様

　■安全規格適合　NRTL/SEMI-S2/CE

用途

・半導体製造

・電子銃排気、イオン源排気

・FPD製造

・表面処理、表面改質

・各種電子部品製造

・分析、試験装置

・管球製造、光学部品製造

・加速器、放射線施設、核融合研究

・熱処理

・研究開発

仕様
外観寸法図
性能曲線
コントローラ

仕様

吸気口フランジ		VG250 ISO-B250
排気速度	N₂ (L/s)	2400
	N₂(保護金網付) (L/s)	2300
	H₂ (L/s)	1100
最大圧縮比	N₂	1×10⁸
最大圧縮比	H₂	1.5×10³
到達圧力	VG・ISO-B (Pa)	<1×10^-6
到達圧力	VG・ISO-B(Torr)	<7.5×10^-9
最大ガス流量^※1	N₂ (sccm)	3000
起動時間	(min)	4~5
停止時間	(min)	4~5
許容補助圧力	(Pa / Torr)	200 / 1.5
推奨補助ポンプ	(L/min)	≧500
取付姿勢		自在
質量(kg) VG･ISO-B		45
コントローラ型式		TC010MA
特殊仕様 (詳しくは当社営業担当者までお問合わせ下さい。)		-ケミカル形 -反応生成物対応 TG-MI

※1：補助ポンプ容量を1000L/minとした場合の許容最大流量
[ 使用周囲温度 ]
到達圧力保証周囲温度は10～23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合10～32℃、水冷の場合は10～40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10～35℃です。
[ 対応ガス種 ]
吸引ガス種によっては、内部部品を劣化させる場合があります。
対応ガス種は当社営業にお問い合わせ下さい。

外観寸法図

Ⓐ	Ⓑ	Ⓒ	Ⓓ
VG250	φ350	16	340
ISO-B250	φ335	16	340

●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

コントローラ

コントローラ型式	TC010MA
入力電圧(ACV)	200-240(±10%)
入力周波数(Hz)	50/60
入力相数	単相
最大所要電力(VA)	1200
出力周波数(Hz)	520
質量(kg)	11
標準付属品	・入力ケーブル(5m)：1本・リモートコネクタ：1個・取扱説明書(本体、シリアル通信)：各1部