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TG2400M
■取付姿勢自在
■コンパクトサイズ
■省エネルギー
■急速起動停止
■メンテナンスコール
■低振動
■チューニングフリー
■オートキャリブレーション
■回転数コントロール
■大流量排気
■多様な通信仕様
■安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE
用途
・半導体製造
・電子銃排気、イオン源排気
・FPD製造
・表面処理、表面改質
・各種電子部品製造
・分析、試験装置
・管球製造、光学部品製造
・加速器、放射線施設、核融合研究
・熱処理
・研究開発
仕様
吸気口フランジ | VG250 ISO-B250 |
|
排気速度 | N2 (L/s) | 2400 |
N2(保護金網付) (L/s) | 2300 | |
H2 (L/s) | 1100 | |
最大圧縮比 | N2 | 1×108 |
H2 | 1.5×103 | |
到達圧力 | VG・ISO-B (Pa) | <1×10-6 |
VG・ISO-B(Torr) | <7.5×10-9 | |
最大ガス流量※1 | N2 (sccm) | 3000 |
起動時間 | (min) | 4~5 |
停止時間 | (min) | 4~5 |
許容補助圧力 | (Pa / Torr) | 200 / 1.5 |
推奨補助ポンプ | (L/min) | ≧500 |
取付姿勢 | 自在 | |
質量(kg) VG・ISO-B | 45 | |
コントローラ型式 | TC010MA | |
特殊仕様 (詳しくは当社営業担当者までお問合わせ下さい。) |
-ケミカル形 -反応生成物対応 TG-MI |
※1:補助ポンプ容量を1000L/minとした場合の許容最大流量
[ 使用周囲温度 ]
到達圧力保証周囲温度は10~23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合10~32℃、水冷の場合は10~40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10~35℃です。
[ 対応ガス種 ]
吸引ガス種によっては、内部部品を劣化させる場合があります。
対応ガス種は当社営業にお問い合わせ下さい。
外観寸法図
Ⓐ | Ⓑ | Ⓒ | Ⓓ |
VG250 | φ350 | 16 | 340 |
ISO-B250 | φ335 | 16 | 340 |
●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
性能曲線
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。
コントローラ
コントローラ型式 | TC010MA |
入力電圧(ACV) | 200-240(±10%) |
入力周波数(Hz) | 50/60 |
入力相数 | 単相 |
最大所要電力(VA) | 1200 |
出力周波数(Hz) | 520 |
質量(kg) | 11 |
標準付属品 | ・入力ケーブル(5m):1本 ・リモートコネクタ:1個 ・取扱説明書(本体、シリアル通信):各1部 |