製品情報

TG1307M

  • TG1307M

 ■取付姿勢自在

 ■コンパクトサイズ

 ■省エネルギー

 ■急速起動停止

 ■メンテナンスコール

 ■低振動

 ■チューニングフリー

 ■オートキャリブレーション

 ■回転数コントロール

 ■大流量排気

 ■多様な通信仕様

 ■安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE

用途

・半導体製造

電子銃排気、イオン源排気

FPD製造

表面処理、表面改質

各種電子部品製造

分析、試験装置

管球製造、光学部品製造

加速器、放射線施設、核融合研究

熱処理

研究開発


仕様

吸気口フランジ  VG200
CF200
ISO-B200
排気速度 N2 (L/s) 1300
N2(保護金網付) (L/s) 1230
H2 (L/s) 1200
最大圧縮比  N2 1×108 
H2 1.5×104 
到達圧力  VG・ISO-B/CF (Pa) <1×10-6 / <1×10-7 
VG・ISO-B/CF (Torr) <7.5×10-9 / <7.5×10-10
最大ガス流量※1 N2 (sccm) 3000
起動時間 (min)  4~5
停止時間 (min) 4~5
許容補助圧力 (Pa / Torr) 500 / 3.8 
推奨補助ポンプ (L/min) ≧250
取付姿勢 自在 
質量(kg)  VG・ISO-B/CF 37 / 45 
コントローラ型式 TC0311M

※1:補助ポンプ容量を1000L/minとした場合の許容最大流量
[ 使用周囲温度 ]
到達圧力保証周囲温度は10~23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合10~32℃、水冷の場合は10~40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10~35℃です。
[ 対応ガス種 ]
吸引ガス種によっては、内部部品を劣化させる場合があります。
対応ガス種は当社営業にお問い合わせ下さい。

外観寸法図

外観寸法図


VG200 φ300 16 349
CF200 φ253 25 410
ISO-B200 φ285 16 384

●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線
性能曲線

※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

コントローラ

コントローラ


コントローラ


コントローラ型式 TC0311M 
入力電圧 (ACV) 200-240 (-15% ~ +10%) 
入力周波数 (Hz) 50 / 60
入力相数 単相 
最大所要電力 (VA) 900
出力周波数 (Hz) 560 
質量 (kg) 8 
標準付属品 ・入力ケーブル(5m):1本
・取扱説明書(本体、シリアル通信):
各1部 
通信インターフェース
(いづれかを選択)
Parallel I/O・RS232C・RS485
・Profibus・DeviceNet