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TG420M

　■取付姿勢自在

　■コンパクトサイズ

　■省エネルギー

　■急速起動停止

　■メンテナンスコール

　■低振動

　■チューニングフリー

　■オートキャリブレーション

　■回転数コントロール

　■大流量排気

　■多様な通信仕様

　■安全規格適合　NRTL/SEMI-S2/CE

用途

・半導体製造

・電子銃排気、イオン源排気

・FPD製造

・表面処理、表面改質

・各種電子部品製造

・分析、試験装置

・管球製造、光学部品製造

・加速器、放射線施設、核融合研究

・熱処理

・研究開発

仕様
外観寸法図
性能曲線
コントローラ

仕様

吸気口フランジ		VG150 CF160 ISO-B160
排気速度	N₂ (L/s)	400
	N₂(保護金網付) (L/s)	370
	H₂ (L/s)	300
最大圧縮比	N₂	1×10⁸
最大圧縮比	H₂	4.5×10³
到達圧力	VG・ISO-B/CF (Pa)	<1×10^-6 / <1×10^-7
到達圧力	VG・ISO-B/CF (Torr)	<7.5×10^-9 / <7.5×10^-10
最大ガス流量^※1	N₂ (sccm)	2000
起動時間	(min)	2~3
停止時間	(min)	4~5
許容補助圧力	(Pa / Torr)	400 / 3
推奨補助ポンプ	(L/min)	≧160
取付姿勢		自在
質量(kg) VG･ISO-B/CF		14 / 17
コントローラ型式		TC010MA
特殊仕様（詳しくは当社営業担当者までお問合せ下さい。）		-ケミカル形 -反応生成物対応 TG-MI -極低振動仕様 TG-ML

※1：補助ポンプ容量を320L/minとした場合の許容最大流量
[ 使用周囲温度 ]
到達圧力保証周囲温度は10～23℃です。又、許容周囲温度は空冷の場合10～32℃、水冷の場合は10～40℃です。到達圧力保証冷却水温は30℃以下で許容冷却水温は10～35℃です。
[ 対応ガス種 ]
吸引ガス種によっては、内部部品を劣化させる場合があります。
対応ガス種は当社営業にお問い合わせ下さい。

外観寸法図

Ⓐ	Ⓑ	Ⓒ	Ⓓ
VG150	φ235	16	225
CF160	φ203	22	230
ISO-B160	φ225	16	230

●吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

コントローラ

コントローラ型式	TC010MA
入力電圧(ACV)	200-240(±10%)
入力周波数(Hz)	50/60
入力相数	単相
最大所要電力(VA)	700
出力周波数(Hz)	680
質量(kg)	11
標準付属品	・入力ケーブル(5m)：1本・リモートコネクタ：1個・取扱説明書(本体、シリアル通信)：各1部