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TG390M

  • TG390M
  • 取付姿勢自在
  • コンパクトサイズ
  • 省エネルギー
  • 急速起動停止
  • メンテナンスコール
  • 低振動
  • チューニングフリー
  • オートキャリブレーション
  • 回転数コントロール
  • 大流量排気
  • 多様な通信仕様
  • 安全規格適合 NRTL/SEMI-S2/CE

用途

  • 半導体製造
  • 電子銃排気、イオン源排気
  • FPD製造
  • 表面処理、表面改質
  • 各種電子部品製造
  • 分析、試験装置
  • 管球製造、光学部品製造
  • 加速器、放射線施設、核融合研究
  • 熱処理
  • 研究開発

仕様

外観寸法図

外観寸法図


 

● 吸気口フランジボルト穴は中心線振分。
※無断転載はご遠慮下さい。掲載内容は通告無しに変更する場合があります。

性能曲線

性能曲線

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コントローラ

コントローラ


コントローラ


コントローラ型式 TC010MA
入力電圧(ACV) 200-240(±10%)
入力周波数(Hz) 50/60
入力相数 単相
最大所要電力(VA) 700
出力周波数(Hz) 680
質量(kg) 11
標準付属品 ・入力ケーブル(5m):1本
・リモートコネクタ:1個
・取扱説明書(本体、シリアル通信):各1部